蘇州超精密氣浮轉(zhuǎn)臺定制

中小企業(yè)是德國經(jīng)濟(jì)的重要支柱。它們從不“嫌棄”自己的產(chǎn)品和領(lǐng)域不夠“高大上”，而是孜孜不倦，力求把產(chǎn)品做到極致，達(dá)到世界領(lǐng)先水平，因此這些企業(yè)也被冠以“隱形冠軍”的美名。曾參觀過德國一家生產(chǎn)工業(yè)風(fēng)扇的中小企業(yè)，為了檢測風(fēng)扇運(yùn)行時的噪音，特意建造了先進(jìn)的靜音實驗室，置身其中，可以聽到自己心跳的聲音。為提升品質(zhì)舍得投入，敢于投入，這樣的產(chǎn)品無疑具有強(qiáng)大的國際競爭力。如果說責(zé)任感和完美主義貫穿于德國企業(yè)文化的始終，那么家庭傳承則為此打下了重要的基礎(chǔ)。

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西方工業(yè)化發(fā)展了幾百年，摸索出的一條重要經(jīng)驗就是通過市場和用戶的深度互動，對每一次優(yōu)化創(chuàng)新進(jìn)行確認(rèn)，經(jīng)過時間的打磨，最終形成本國制造的歷史積淀?！凹伎蛇M(jìn)乎道，藝可通乎神?！睂Ξa(chǎn)品不斷改進(jìn)、創(chuàng)新和優(yōu)化，是任何一家企業(yè)求得長遠(yuǎn)發(fā)展的基本前提。200年前，德國人德萊斯發(fā)明了木質(zhì)自行車，不經(jīng)意間開啟了一個交通提速時代。如今，德國人越來越注重自己組裝自行車，腳踏板、鞍座和扶手等配件將根據(jù)騎車人的體形、使用習(xí)慣而定。

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科學(xué)意義及應(yīng)用價值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。

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其原理如圖所示。寫入激光經(jīng)過調(diào)制穩(wěn)光、準(zhǔn)直擴(kuò)束后，平行入射到DMD上，被其調(diào)制編碼、分束成獨(dú)立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后，被微光學(xué)陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺上，從而實現(xiàn)寫入曝光;在寫入光被調(diào)制的同時，基底平臺作光柵或回轉(zhuǎn)掃描，實現(xiàn)微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的曝光制作?？茖W(xué)意義及應(yīng)用價值：利用微光學(xué)陣列替換傳統(tǒng)的直寫物鏡，實現(xiàn)多光路并行同步寫入，有效提高了寫入效率;同時由于微光學(xué)透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑，可極大地提高寫入分辨力。

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HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要用于高精度測量儀器、光學(xué)檢測儀器、精密/超精密光機(jī)電一體化裝備、精密/超精密機(jī)床等先進(jìn)裝備制造領(lǐng)域，是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線運(yùn)動導(dǎo)向和定位的關(guān)鍵部件。HHUE--D1331氣浮導(dǎo)軌已成系列，其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見表2);該系列氣浮導(dǎo)軌具有優(yōu)異的直線運(yùn)動精度和良好的剛度，直線運(yùn)動誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨(dú)設(shè)計。

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HUE--E1231是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高精度二維轉(zhuǎn)臺。10項中國發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)國家科技重大專項推介產(chǎn)品在北京空間機(jī)電研究所(508所)、沈陽航空發(fā)動機(jī)研究所等單位應(yīng)用HUE--E1231型高精度二維轉(zhuǎn)臺核心技術(shù)指標(biāo)均通過中國國家量儀產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心檢測。兩軸空間垂直度優(yōu)于5秒;角回轉(zhuǎn)誤差優(yōu)于1秒;角定位誤差優(yōu)于1秒;HUE--E1231特征與優(yōu)勢高精度和大承載 采用靜壓氣浮支撐技術(shù)作為回轉(zhuǎn)軸系，轉(zhuǎn)臺軸系回轉(zhuǎn)誤差小，承載可高達(dá)數(shù)十噸。