西寧超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)公司

科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：建立起一種反映傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等影響因素和作用規(guī)律的子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，依據(jù)該測(cè)量模型，可建立起一種對(duì)上述影響因素有較強(qiáng)抑制能力的測(cè)量?jī)x器，進(jìn)而解決凸凹深度非球面測(cè)量問(wèn)題。研究目的：研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，解決傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)承載能力小、剛度低、抗擾動(dòng)能力差等問(wèn)題，以期進(jìn)一步提高氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的回轉(zhuǎn)精度，提高抗擾動(dòng)能力。

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專(zhuān)家稱，精密檢測(cè)儀器本身是整個(gè)行業(yè)的糧草，而軟件則又是儀器的核心。所以我們要想讓整個(gè)的精密檢測(cè)儀器行業(yè)的發(fā)展取得長(zhǎng)足的進(jìn)步，那么我們就要保證精密測(cè)量軟件的不斷更新和發(fā)展，為儀器的檢測(cè)提供技術(shù)的支持。隨著國(guó)際市場(chǎng)需求的不斷擴(kuò)大，與人們生活息息相關(guān)的試驗(yàn)機(jī)行業(yè)也得到了迅猛的發(fā)展，但由于技術(shù)及創(chuàng)新等方面的原因，國(guó)內(nèi)試驗(yàn)機(jī)行業(yè)與國(guó)外仍有巨大的差距，關(guān)鍵核心技術(shù)匱乏，低水平重復(fù)，產(chǎn)品的穩(wěn)定性及可靠性得不到根本的解決，在高端精密儀器上仍嚴(yán)重依賴進(jìn)口，大量進(jìn)口對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展造成不利影響。

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研究目的：研究一種多點(diǎn)并行曝光、且曝光面上各曝光點(diǎn)曝光可控及曝光強(qiáng)度宏微雙重可調(diào)的高分辨力的激光直接寫(xiě)入新技術(shù)，以解決傳統(tǒng)激光直寫(xiě)單點(diǎn)曝光制作效率低的問(wèn)題，提高微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的制作效率?；驹恚憾喙獍呖煽夭⑿屑す庵睂?xiě)的基本思想是以微光學(xué)鏡陣列作為直寫(xiě)物鏡，將寫(xiě)入激光分別聚焦為多個(gè)高分辨力寫(xiě)入光斑，以分散直寫(xiě)任務(wù);利用數(shù)字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調(diào)制器進(jìn)行宏微雙重調(diào)制寫(xiě)入光強(qiáng)。

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超精密制造已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地，包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測(cè)量車(chē)間，2820㎡的精密/超精密加工車(chē)間，2110㎡的精密裝校車(chē)間，約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車(chē)間;配套超潔凈溫度/濕度控制機(jī)組，大型超精密氣浮隔微振設(shè)施，三坐標(biāo)行吊車(chē)等配套設(shè)施。投資7000余萬(wàn)元購(gòu)置德國(guó)五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控鏜銑加工中心、美國(guó)摩爾坐標(biāo)磨床，光學(xué)曲線磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐標(biāo)等大型精密/超精密加工與測(cè)量設(shè)備70余臺(tái)(套)，具備了設(shè)計(jì)、研發(fā)、中試和生產(chǎn)大型高端超精密儀器與裝備產(chǎn)品的能力。公司已通過(guò)GJB9001B-2009《質(zhì)量管理體系》認(rèn)證，以顧客為關(guān)注焦點(diǎn)，與客戶廣交朋友，不斷持續(xù)改進(jìn)，以顧客滿意為目標(biāo)。

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為做好國(guó)家首批國(guó)家重大科學(xué)儀器開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財(cái)務(wù)司副司長(zhǎng)吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長(zhǎng)李力先后來(lái)我公司考察，了解我公司的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長(zhǎng)等參加現(xiàn)場(chǎng)考察。吳學(xué)梯在考察時(shí)強(qiáng)調(diào)了國(guó)家實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略的重要意義和迫切性，詳細(xì)了解了譚久彬教授所承擔(dān)的“超高分辨率反射式立體層析共焦顯微鏡研制”項(xiàng)目在核心技術(shù)突破、工程樣機(jī)和產(chǎn)品樣機(jī)研制、測(cè)試驗(yàn)證、第三方異地測(cè)試的準(zhǔn)備、產(chǎn)業(yè)前景和產(chǎn)業(yè)化途徑、知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)、標(biāo)準(zhǔn)制定以及經(jīng)費(fèi)使用等方面的進(jìn)展情況。

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適用于實(shí)驗(yàn)室和車(chē)間環(huán)境;電壓：220V或380V交流電壓，50Hz;氣源：0.4MPa的過(guò)濾干燥空氣;溫度：20℃±5℃;濕度：<60%;其他：避免酸堿等腐蝕性氣體浸蝕HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要采用花崗巖、金屬或陶瓷制作，配有精密導(dǎo)軌基體、氣浮套和高潔凈空氣凈化器。采用多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)進(jìn)行高精度、高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤(rùn)滑及支撐參數(shù)設(shè)計(jì)，使導(dǎo)軌兼有高精度、高剛度和高承載的特點(diǎn);并使導(dǎo)軌工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運(yùn)動(dòng)和定位狀態(tài)下均無(wú)氣體紊流振動(dòng)、嘯叫、噪聲及高頻微振等?？刂铺匦苑譃橛序?qū)動(dòng)和無(wú)驅(qū)動(dòng)兩種，按其需要進(jìn)行驅(qū)動(dòng)配置。