廈門(mén)機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)定制

基本原理：干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè)，兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每?jī)纱螜z測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過(guò)擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上，這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大，從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的，即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。

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超精密制造已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地，包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測(cè)量車(chē)間，2820㎡的精密/超精密加工車(chē)間，2110㎡的精密裝校車(chē)間，約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車(chē)間;配套超潔凈溫度/濕度控制機(jī)組，大型超精密氣浮隔微振設(shè)施，三坐標(biāo)行吊車(chē)等配套設(shè)施。投資7000余萬(wàn)元購(gòu)置德國(guó)五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控鏜銑加工中心、美國(guó)摩爾坐標(biāo)磨床，光學(xué)曲線(xiàn)磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐標(biāo)等大型精密/超精密加工與測(cè)量設(shè)備70余臺(tái)(套)，具備了設(shè)計(jì)、研發(fā)、中試和生產(chǎn)大型高端超精密儀器與裝備產(chǎn)品的能力。公司已通過(guò)GJB9001B-2009《質(zhì)量管理體系》認(rèn)證，以顧客為關(guān)注焦點(diǎn)，與客戶(hù)廣交朋友，不斷持續(xù)改進(jìn)，以顧客滿(mǎn)意為目標(biāo)。

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科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測(cè)量系統(tǒng)相比，在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時(shí)環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對(duì)測(cè)量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀(guān)掃描測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測(cè)量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺(tái)階、微構(gòu)槽、集成電路線(xiàn)寬等。

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用途HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于大型和超大型精密機(jī)械、光學(xué)精密零部件的幾何參量或部件及整機(jī)運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)、以及大型精密裝備分系統(tǒng)和整機(jī)裝配測(cè)試等。規(guī)格與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)面直徑范圍為①700mm～①3000，mm，設(shè)計(jì)有T型槽或固定子L的臺(tái)面形式，特殊需要可單獨(dú)定做；臺(tái)體承重從800kg到20000kg，（技術(shù)指標(biāo)見(jiàn)附表）。結(jié)構(gòu)與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)配置精密氣浮軸系，兼有高回轉(zhuǎn)精度、高剛度和高承載能力等特點(diǎn)。轉(zhuǎn)臺(tái)高精度旋轉(zhuǎn)時(shí)無(wú)噪聲、無(wú)振動(dòng)、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。

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當(dāng)然，對(duì)于精密檢測(cè)儀器這個(gè)國(guó)內(nèi)新興的行業(yè)來(lái)說(shuō)，也會(huì)有高潮和低谷的存在，因此，企業(yè)需要有一個(gè)發(fā)展的規(guī)劃，這樣才能帶領(lǐng)行業(yè)不斷的超越和發(fā)展，最終成為領(lǐng)域里的領(lǐng)頭羊。業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，我國(guó)精密檢測(cè)技術(shù)和儀器的現(xiàn)狀仍然不甚理想，主要原因在于此類(lèi)研發(fā)企業(yè)在國(guó)內(nèi)是稀缺資源。隨著中國(guó)工業(yè)自動(dòng)化和產(chǎn)業(yè)升級(jí)的發(fā)展趨勢(shì)，定向研發(fā)的精密檢測(cè)儀器在工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域?qū)⒂泻艽蟮氖袌?chǎng)空間，與此同時(shí)，中國(guó)要成為工業(yè)強(qiáng)國(guó)，也必須重視研發(fā)與創(chuàng)新。