太原超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)公司

HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要用于高精度測(cè)量?jī)x器、光學(xué)檢測(cè)儀器、精密/超精密光機(jī)電一體化裝備、精密/超精密機(jī)床等先進(jìn)裝備制造領(lǐng)域，是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向和定位的關(guān)鍵部件。HHUE--D1331氣浮導(dǎo)軌已成系列，其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見表2);該系列氣浮導(dǎo)軌具有優(yōu)異的直線運(yùn)動(dòng)精度和良好的剛度，直線運(yùn)動(dòng)誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨(dú)設(shè)計(jì)。

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研究目的：研究一種多點(diǎn)并行曝光、且曝光面上各曝光點(diǎn)曝光可控及曝光強(qiáng)度宏微雙重可調(diào)的高分辨力的激光直接寫入新技術(shù)，以解決傳統(tǒng)激光直寫單點(diǎn)曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的制作效率?；驹恚憾喙獍呖煽夭⑿屑す庵睂懙幕舅枷胧且晕⒐鈱W(xué)鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個(gè)高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務(wù);利用數(shù)字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調(diào)制器進(jìn)行宏微雙重調(diào)制寫入光強(qiáng)。

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精密檢測(cè)儀器與我們的日常生活息息相關(guān)，但很多人對(duì)此并不甚了解。精密檢測(cè)儀器自上世紀(jì)九十年代起開始在國(guó)內(nèi)被廣泛使用，成為檢測(cè)工業(yè)產(chǎn)品必備的設(shè)備。在經(jīng)歷了簡(jiǎn)單的投影儀、二次元影像測(cè)量?jī)x、高端三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)這三個(gè)發(fā)展階段之后，目前的精密檢測(cè)儀器更加趨向于智能化、自動(dòng)化和集成化，解決了人工肉精密檢測(cè)儀器與我們的日常生活息息相關(guān)，但很多人對(duì)此并不甚了解。精密檢測(cè)儀器自上世紀(jì)九十年代起開始在國(guó)內(nèi)被廣泛使用，成為檢測(cè)工業(yè)產(chǎn)品必備的設(shè)備。

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由于SMEE的任務(wù)要求緊張，我公司僅用了三個(gè)月的時(shí)間完成了制造任務(wù)。2017年2月初，SMEE的質(zhì)量控制人員、設(shè)計(jì)人員、工藝人員在我公司進(jìn)行了驗(yàn)收測(cè)試，歷經(jīng)5天的時(shí)間完成了整個(gè)測(cè)試。產(chǎn)品經(jīng)過清潔、包裝等工作，于2017年2月15日由專車運(yùn)往上海。新春伊始北京大學(xué)教授、中國(guó)科學(xué)院程和平院士一行在完成了對(duì)哈工大的訪問之后,于2017年2月15日,在譚久彬的陪同下到我公司參觀考察。程和平院士一行聽取了譚久彬教授關(guān)于公司基礎(chǔ)能力、研發(fā)能力、生產(chǎn)能力、典型產(chǎn)品等情況的介紹，考察了極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項(xiàng)、國(guó)家重大科學(xué)儀器研發(fā)專項(xiàng)等的研制情況。