貴陽超精密氣浮轉(zhuǎn)臺廠家

015年6月8日下午15:40至16:20，上海市市長楊雄一行在黑龍江省省長陸昊、哈爾濱市委書記陳海波，哈爾濱工業(yè)大學(xué)校長周玉等領(lǐng)導(dǎo)的陪同下來到哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司進行考察。該公司是哈爾濱工業(yè)大學(xué)超精密光電儀器工程研究所在哈爾濱松北區(qū)建成的高端超精密儀器產(chǎn)業(yè)化基地。在考察過程中，譚久彬教授向陸昊省長和楊雄市長等領(lǐng)導(dǎo)詳細介紹了研究所與該產(chǎn)業(yè)化基地構(gòu)成的產(chǎn)學(xué)研一體化運作模式，研究所完成的一批完全自主創(chuàng)新的大型高端超精密儀器研發(fā)成果在產(chǎn)業(yè)化方面取得的重要進展。

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由我公司承擔的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機計量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過預(yù)驗收與交付，這標志著我公司對于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個新的臺階。光刻機被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”，其中的計量框架是整個光刻機的工作基準平臺，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，僅定位銷孔一百二十多個；螺紋孔四百多個；基礎(chǔ)框架是整個光刻機的基本支持體，尺寸達2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個。計量框架與基礎(chǔ)框架中對任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當高，正常的制造周期為6個月。

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核心技術(shù)指標通過國家量儀產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心檢測主要核心技術(shù)指標達到國際同類產(chǎn)品領(lǐng)先水平我公司該產(chǎn)品目前已有18種適應(yīng)不同應(yīng)用場合的的型號產(chǎn)品; 在航天、國防和高端超精密裝備制造領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，可解決我國高端超精密裝備研制、生產(chǎn)和使用中的隔微振技術(shù)難題。隨著我國的裝備制造業(yè)向中高端發(fā)展，HUE-G2631將在我國發(fā)展該類高端超精密裝備發(fā)揮重大作用。航天發(fā)動機、航空發(fā)動機、汽車發(fā)動機陣列式氣膜微孔、燃料微噴嘴氣浮設(shè)備陣列式微孔氣足、陣列式節(jié)流微孔光東引導(dǎo)微口徑約束、針孔光闌m科學(xué)實驗研究校準溯源、工藝改進

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超精密氣浮直線基準圓柱度和直線度的測量，不僅要求儀器主軸的回轉(zhuǎn)基準精度高，直線運動基準的精度要求也非常高。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計的圓柱度儀導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，提供了極高的直線運動精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結(jié)構(gòu)上進行了精心設(shè)計，保障了儀器整體具有非常高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質(zhì)，經(jīng)過億萬年老化沉積，花崗巖材質(zhì)質(zhì)地均勻，強度高，應(yīng)力變形小，對溫度敏感性小。經(jīng)過精加工保證各零、部件的機械位置，基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。

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HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高空間分辨率光學(xué)共焦顯微鏡。 產(chǎn)品系大型高端科學(xué)儀器，綜合了國內(nèi)外優(yōu)勢技術(shù)方案，技術(shù)密集度極高，能夠?qū)崿F(xiàn)對各類樣品表面微結(jié)構(gòu)的高分辨率三維測量。使用環(huán)境，溫度要求：20℃±1℃;濕度要求：小于60%RH;隔振要求：儀器應(yīng)放在隔振基礎(chǔ)上，周圍無劇烈振動和沖擊;電磁場要求：使用現(xiàn)場周圍無強電磁干擾。