河北超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)公司

其原理如圖所示。寫(xiě)入激光經(jīng)過(guò)調(diào)制穩(wěn)光、準(zhǔn)直擴(kuò)束后，平行入射到DMD上，被其調(diào)制編碼、分束成獨(dú)立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后，被微光學(xué)陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺(tái)上，從而實(shí)現(xiàn)寫(xiě)入曝光;在寫(xiě)入光被調(diào)制的同時(shí)，基底平臺(tái)作光柵或回轉(zhuǎn)掃描，實(shí)現(xiàn)微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的曝光制作。科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：利用微光學(xué)陣列替換傳統(tǒng)的直寫(xiě)物鏡，實(shí)現(xiàn)多光路并行同步寫(xiě)入，有效提高了寫(xiě)入效率;同時(shí)由于微光學(xué)透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑，可極大地提高寫(xiě)入分辨力。

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HUE-G2631是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開(kāi)發(fā)的新一代大型/超大型氣浮隔微振裝置。本產(chǎn)品是超大型基礎(chǔ)性平臺(tái)設(shè)備，可用于大型/超大型精密儀器及系統(tǒng)、光學(xué)儀器及系統(tǒng)、超精密制造裝備和工作母機(jī)等高端裝備的加工、裝調(diào)、測(cè)試與使用，在支撐大型高端和尖端超精密裝備制造和使用中具有不可替代的重要作用。30余項(xiàng)中外發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)國(guó)家科技重大專項(xiàng)推介產(chǎn)品在北京空間機(jī)電研究所(5 0 8所)、哈爾濱量具刃具集團(tuán)等單位應(yīng)用

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儀器特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)：我公司生產(chǎn)的系列圓柱度測(cè)量?jī)x完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，具有測(cè)量精度高、重復(fù)性好、儀器功能模塊化、中文操作界面等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)堋⒋笮?、重型及特殊形狀回轉(zhuǎn)體類零件的圓度、圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進(jìn)行測(cè)量，并能進(jìn)行相關(guān)分析?？蓮V泛用于航空航天、船舶、國(guó)防、汽車、軸承等各類精密裝備制造領(lǐng)域?；?標(biāo)準(zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x可用于計(jì)量部門(mén)，開(kāi)展圓柱度量值的傳遞與溯源工作，基準(zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x(圖1)的主要技術(shù)指標(biāo)詳見(jiàn)技術(shù)參數(shù)。

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超精密制造已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地，包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測(cè)量車間，2820㎡的精密/超精密加工車間，2110㎡的精密裝校車間，約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車間;配套超潔凈溫度/濕度控制機(jī)組，大型超精密氣浮隔微振設(shè)施，三坐標(biāo)行吊車等配套設(shè)施。投資7000余萬(wàn)元購(gòu)置德國(guó)五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控鏜銑加工中心、美國(guó)摩爾坐標(biāo)磨床，光學(xué)曲線磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐標(biāo)等大型精密/超精密加工與測(cè)量設(shè)備70余臺(tái)(套)，具備了設(shè)計(jì)、研發(fā)、中試和生產(chǎn)大型高端超精密儀器與裝備產(chǎn)品的能力。公司已通過(guò)GJB9001B-2009《質(zhì)量管理體系》認(rèn)證，以顧客為關(guān)注焦點(diǎn)，與客戶廣交朋友，不斷持續(xù)改進(jìn)，以顧客滿意為目標(biāo)。