雞西超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)定制

他對(duì)項(xiàng)目組已經(jīng)取得的標(biāo)志性成果、研發(fā)平臺(tái)建設(shè)和隊(duì)伍建設(shè)等予以充分肯定，對(duì)課題組在參與國(guó)際、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)制定方面所做的工作給予認(rèn)可，還特別對(duì)項(xiàng)目組在承擔(dān)專項(xiàng)任務(wù)中進(jìn)一步衍生開發(fā)出新型高度測(cè)量?jī)x器的原始創(chuàng)新性成果表示關(guān)注。吳學(xué)梯一行現(xiàn)場(chǎng)考察了位于松北科技創(chuàng)新城的哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司的產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)和儀器產(chǎn)業(yè)化情況。李力在考察時(shí)了解了超精密光電儀器工程研究所在高端儀器與裝備方面的科研情況、重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目執(zhí)行情況，并重點(diǎn)詢問(wèn)了相關(guān)技術(shù)及其核心零部件制備裝備與工藝的進(jìn)展情況，對(duì)研究所的系統(tǒng)性創(chuàng)新成果和工程攻關(guān)能力給予高度評(píng)價(jià)，并鼓勵(lì)項(xiàng)目組進(jìn)一步加快科研成果的工程研發(fā)、工程應(yīng)用和技術(shù)產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。

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超精密氣浮直線基準(zhǔn)圓柱度和直線度的測(cè)量，不僅要求儀器主軸的回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)精度高，直線運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)的精度要求也非常高。經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，提供了極高的直線運(yùn)動(dòng)精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了精心設(shè)計(jì)，保障了儀器整體具有非常高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質(zhì)，經(jīng)過(guò)億萬(wàn)年老化沉積，花崗巖材質(zhì)質(zhì)地均勻，強(qiáng)度高，應(yīng)力變形小，對(duì)溫度敏感性小。經(jīng)過(guò)精加工保證各零、部件的機(jī)械位置，基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。

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科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測(cè)量系統(tǒng)相比，在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時(shí)環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對(duì)測(cè)量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測(cè)量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺(tái)階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。

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即向上下游產(chǎn)業(yè)延伸、產(chǎn)品要向研發(fā)設(shè)計(jì)的高端和用戶服務(wù)延伸;要著力發(fā)展高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)集群，重點(diǎn)支持創(chuàng)新成果的產(chǎn)業(yè)化和商品化;要促進(jìn)生產(chǎn)型、科技型服務(wù)業(yè)發(fā)展，特別要加強(qiáng)在研發(fā)資源共享、技術(shù)交易、孵化器等方面的工作力度;創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的根本是人才，要想盡辦法留住工程技術(shù)、管理、技術(shù)工人等各類人才。座談會(huì)上，郝會(huì)龍向調(diào)研組匯報(bào)了我省裝備制造業(yè)的基本情況、發(fā)展特點(diǎn)、主要工作和成果以及面臨的主要問(wèn)題。建議國(guó)家進(jìn)一步統(tǒng)籌裝備制造業(yè)發(fā)展布局;支持黑龍江省發(fā)展股份合作農(nóng)業(yè)和農(nóng)業(yè)產(chǎn)業(yè)化經(jīng)營(yíng);