濟(jì)南機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)定制

磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動(dòng)態(tài)特性好等特點(diǎn)，但發(fā)熱是其致命的弱點(diǎn)，水靜壓軸承的研制正是針對(duì)這一問題進(jìn)行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點(diǎn)是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運(yùn)轉(zhuǎn)，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機(jī)床驅(qū)動(dòng)采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點(diǎn)，限制了運(yùn)動(dòng)精度的進(jìn)一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機(jī)床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動(dòng)方式的零件加工工藝極其復(fù)雜，限制了其應(yīng)用。

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超精密氣浮直線基準(zhǔn)圓柱度和直線度的測(cè)量，不僅要求儀器主軸的回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)精度高，直線運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)的精度要求也非常高。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，提供了極高的直線運(yùn)動(dòng)精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了精心設(shè)計(jì)，保障了儀器整體具有非常高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質(zhì)，經(jīng)過億萬年老化沉積，花崗巖材質(zhì)質(zhì)地均勻，強(qiáng)度高，應(yīng)力變形小，對(duì)溫度敏感性小。經(jīng)過精加工保證各零、部件的機(jī)械位置，基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。

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基本原理：在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎(chǔ)上，將惠普爾理論與壓力對(duì)數(shù)分布假設(shè)相結(jié)合，對(duì)傳統(tǒng)氣體潤(rùn)滑理論進(jìn)行修正和完善。建立基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(CTGB)的歸一化解析模型，在以剛度為目標(biāo)函數(shù)的前提下，對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行全局優(yōu)化，從而得到基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)參數(shù)。科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：對(duì)超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)中動(dòng)靜壓之間的耦合規(guī)律進(jìn)行建模。解析表述了動(dòng)靜壓之間的壓力耦合、結(jié)構(gòu)耦合以及壓力與結(jié)構(gòu)之間的交叉耦合。該技術(shù)大幅度提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的剛度、承載能力和抗擾動(dòng)能力，提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的綜合性能。實(shí)驗(yàn)表明：與傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(STGB)相比，承載能力提高4倍以上，剛度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲線對(duì)比見Fig.1-3。

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他對(duì)項(xiàng)目組已經(jīng)取得的標(biāo)志性成果、研發(fā)平臺(tái)建設(shè)和隊(duì)伍建設(shè)等予以充分肯定，對(duì)課題組在參與國(guó)際、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)制定方面所做的工作給予認(rèn)可，還特別對(duì)項(xiàng)目組在承擔(dān)專項(xiàng)任務(wù)中進(jìn)一步衍生開發(fā)出新型高度測(cè)量?jī)x器的原始創(chuàng)新性成果表示關(guān)注。吳學(xué)梯一行現(xiàn)場(chǎng)考察了位于松北科技創(chuàng)新城的哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司的產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)和儀器產(chǎn)業(yè)化情況。李力在考察時(shí)了解了超精密光電儀器工程研究所在高端儀器與裝備方面的科研情況、重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目執(zhí)行情況，并重點(diǎn)詢問了相關(guān)技術(shù)及其核心零部件制備裝備與工藝的進(jìn)展情況，對(duì)研究所的系統(tǒng)性創(chuàng)新成果和工程攻關(guān)能力給予高度評(píng)價(jià)，并鼓勵(lì)項(xiàng)目組進(jìn)一步加快科研成果的工程研發(fā)、工程應(yīng)用和技術(shù)產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。

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圓柱度測(cè)量?jī)x是我公司生產(chǎn)的專業(yè)化、系列化產(chǎn)品之一，至今已有近三十余年的歷史。產(chǎn)品包括：大型圓柱度測(cè)量?jī)x、精密/超精密型圓柱度測(cè)量?jī)x、基/標(biāo)準(zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x，已形成系列化產(chǎn)品，解決了多項(xiàng)國(guó)家重大裝備造項(xiàng)目中核心器部件的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)測(cè)量難題;并在我國(guó)航空航天、國(guó)防和精密裝備造領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。與其直接相關(guān)的技術(shù)已獲100余項(xiàng)發(fā)明專利。此外，我公司可為客戶定制一些特殊需求的專用精密/超精密光機(jī)電一體化測(cè)量?jī)x器、測(cè)試設(shè)備和試驗(yàn)裝備等。