烏魯木齊超精密氣浮轉(zhuǎn)臺定制

科學(xué)意義及應(yīng)用價值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。

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特征與優(yōu)勢高精度回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)本儀器通過氣浮轉(zhuǎn)臺提供回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，氣浮軸材料選用優(yōu)質(zhì)合金鋼經(jīng)滲氮處理，既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防銹功能.調(diào)心調(diào)傾工作臺調(diào)心調(diào)傾工作臺安裝到氣浮轉(zhuǎn)臺的臺面上，具有調(diào)心和調(diào)傾功能，具有剛度高、精度高、結(jié)構(gòu)堅固耐用的特點.雙橫臂自動升降立柱由橫臂及立柱機構(gòu)組成主要功能是固定傳感器的空間位置.立柱可自動或手動升降，水平運動可手動進行快速大范圍調(diào)整同時可以微調(diào).通過傳感器夾持機構(gòu)可將傳感器在測量平面一定范圍內(nèi)任意調(diào)整姿態(tài)，并可以測量內(nèi)孔.

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圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進行測量，并能進行相關(guān)分析?？蓮V泛用于航空航天、船舶、國防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領(lǐng)域?；鶞?zhǔn)型圓柱度測量儀可用于計量部門，開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色：超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)主軸精度是圓柱度儀回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的重要指標(biāo)。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術(shù)，經(jīng)特殊加工工藝研制，因此保證了儀器主軸具有超精密級的軸向與徑向回轉(zhuǎn)精度(0.015~0.05μm)、角回轉(zhuǎn)精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能，保障了儀器具有高可靠性和長久的使用壽命。

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HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高空間分辨率光學(xué)共焦顯微鏡。 產(chǎn)品系大型高端科學(xué)儀器，綜合了國內(nèi)外優(yōu)勢技術(shù)方案，技術(shù)密集度極高，能夠?qū)崿F(xiàn)對各類樣品表面微結(jié)構(gòu)的高分辨率三維測量。使用環(huán)境，溫度要求：20℃±1℃;濕度要求：小于60%RH;隔振要求：儀器應(yīng)放在隔振基礎(chǔ)上，周圍無劇烈振動和沖擊;電磁場要求：使用現(xiàn)場周圍無強電磁干擾。

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實施國家新一輪老工業(yè)基地調(diào)整改造，把調(diào)整所有制結(jié)構(gòu)作為重點支持黑龍江改革;支持黑龍江資源型城市加快發(fā)展替代產(chǎn)業(yè)等。哈爾濱電氣集團、中國重型機械集團公司等單位有關(guān)負(fù)責(zé)人，分別就各企業(yè)發(fā)展情況以及需要國家層面幫助協(xié)調(diào)解決的問題進行了發(fā)言。在我省期間，調(diào)研組一行先后到哈爾濱超精密工程技術(shù)公司、哈電集團、哈爾濱飛機工業(yè)集團有限責(zé)任公司、哈爾濱東安動力公司、中船重工703所中小型燃機產(chǎn)業(yè)園、黑龍江省工業(yè)技術(shù)研究院、科技創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)共享服務(wù)平臺等地進行了實地考察調(diào)研。