雙鴨山機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)廠家
發(fā)布時(shí)間:2022-04-17 01:39:21雙鴨山機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)廠家
在保證焦斑質(zhì)量的同時(shí),可獲得大的曝光區(qū)域;引入光強(qiáng)宏微雙重調(diào)制裝置,提高了曝光光強(qiáng)的調(diào)制分辨力,從而解決控制輪廓精度的問(wèn)題;通過(guò)空間光調(diào)制器依據(jù)像素部對(duì)寫(xiě)入激光分束,解決了多光路并行同步直寫(xiě)光束的控制問(wèn)題。該技術(shù)特別適用于微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件制作,具有大范圍、高精度激光寫(xiě)入的優(yōu)點(diǎn)。研究目的:研究一種基于多個(gè)子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測(cè)量技術(shù),解決干涉儀測(cè)量范圍受限和分辨率受限問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測(cè)量。
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儀器特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):我公司生產(chǎn)的系列圓柱度測(cè)量?jī)x完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),具有測(cè)量精度高、重復(fù)性好、儀器功能模塊化、中文操作界面等優(yōu)點(diǎn),能夠?qū)?、大型、重型及特殊形狀回轉(zhuǎn)體類(lèi)零件的圓度、圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進(jìn)行測(cè)量,并能進(jìn)行相關(guān)分析??蓮V泛用于航空航天、船舶、國(guó)防、汽車(chē)、軸承等各類(lèi)精密裝備制造領(lǐng)域?;?標(biāo)準(zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x可用于計(jì)量部門(mén),開(kāi)展圓柱度量值的傳遞與溯源工作,基準(zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x(圖1)的主要技術(shù)指標(biāo)詳見(jiàn)技術(shù)參數(shù)。
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西方工業(yè)化發(fā)展了幾百年,摸索出的一條重要經(jīng)驗(yàn)就是通過(guò)市場(chǎng)和用戶的深度互動(dòng),對(duì)每一次優(yōu)化創(chuàng)新進(jìn)行確認(rèn),經(jīng)過(guò)時(shí)間的打磨,最終形成本國(guó)制造的歷史積淀。“技可進(jìn)乎道,藝可通乎神?!睂?duì)產(chǎn)品不斷改進(jìn)、創(chuàng)新和優(yōu)化,是任何一家企業(yè)求得長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展的基本前提。200年前,德國(guó)人德萊斯發(fā)明了木質(zhì)自行車(chē),不經(jīng)意間開(kāi)啟了一個(gè)交通提速時(shí)代。如今,德國(guó)人越來(lái)越注重自己組裝自行車(chē),腳踏板、鞍座和扶手等配件將根據(jù)騎車(chē)人的體形、使用習(xí)慣而定。
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研究目的:構(gòu)建一種具有橫向光學(xué)超分辨成像特性的新型共焦顯微成像特性,解決光束合理整形問(wèn)題并突破衍射極限,實(shí)現(xiàn)一種具有橫向光學(xué)超分辨能力的共焦顯微成像技術(shù)。基本原理:應(yīng)用二元光學(xué)器件,基于衍射原理將高斯激光光束整形為環(huán)形光束,通過(guò)設(shè)計(jì)環(huán)形光內(nèi)環(huán)半徑與外環(huán)半徑之比即環(huán)形光內(nèi)孔歸一化半徑ε,使將低頻光束頻移到高頻通帶,以減小共焦顯微鏡愛(ài)里斑的主瓣寬度,進(jìn)而達(dá)到提高其橫向分辨力和擴(kuò)展其量程范圍的目的。
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磁懸浮主軸技術(shù),永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動(dòng)態(tài)特性好等特點(diǎn),但發(fā)熱是其致命的弱點(diǎn),水靜壓軸承的研制正是針對(duì)這一問(wèn)題進(jìn)行的。與油靜壓軸承相比,這種軸承的優(yōu)點(diǎn)是軸承發(fā)熱較小,適合于高速運(yùn)轉(zhuǎn),而且沒(méi)有污染,特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機(jī)床驅(qū)動(dòng)采用的常規(guī)方式,但是這種方式存在許多缺點(diǎn),限制了運(yùn)動(dòng)精度的進(jìn)一步提高。為此,氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機(jī)床上得到了應(yīng)用,但是采用這種傳動(dòng)方式的零件加工工藝極其復(fù)雜,限制了其應(yīng)用。
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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于高精度機(jī)械、光學(xué)零部件等幾何參量和運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)及分系統(tǒng)與整機(jī)裝配測(cè)試等?!疽?guī)格與工作特性】臺(tái)面直徑范圍為中200mm一中600mm,設(shè)計(jì)有T型槽或固定孔的臺(tái)面形式,特殊需要可單獨(dú)定做;臺(tái)體承重從100kg到600kgo【結(jié)構(gòu)與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計(jì)量/~測(cè)量轉(zhuǎn)臺(tái)采用多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利技術(shù),進(jìn)行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤(rùn)滑與支承參數(shù)設(shè)計(jì),使轉(zhuǎn)臺(tái)兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺(tái)工作狀態(tài)平穩(wěn),在運(yùn)動(dòng)和定位狀態(tài)下均無(wú)氣體紊流振動(dòng)、嘯叫、噪聲及高頻微振等。