廣州機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)公司

精密檢測(cè)儀器與我們的日常生活息息相關(guān)，但很多人對(duì)此并不甚了解。精密檢測(cè)儀器自上世紀(jì)九十年代起開始在國內(nèi)被廣泛使用，成為檢測(cè)工業(yè)產(chǎn)品必備的設(shè)備。在經(jīng)歷了簡(jiǎn)單的投影儀、二次元影像測(cè)量?jī)x、高端三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)這三個(gè)發(fā)展階段之后，目前的精密檢測(cè)儀器更加趨向于智能化、自動(dòng)化和集成化，解決了人工肉精密檢測(cè)儀器與我們的日常生活息息相關(guān)，但很多人對(duì)此并不甚了解。精密檢測(cè)儀器自上世紀(jì)九十年代起開始在國內(nèi)被廣泛使用，成為檢測(cè)工業(yè)產(chǎn)品必備的設(shè)備。

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研究目的：研究一種多點(diǎn)并行曝光、且曝光面上各曝光點(diǎn)曝光可控及曝光強(qiáng)度宏微雙重可調(diào)的高分辨力的激光直接寫入新技術(shù)，以解決傳統(tǒng)激光直寫單點(diǎn)曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的制作效率?；驹恚憾喙獍呖煽夭⑿屑す庵睂懙幕舅枷胧且晕⒐鈱W(xué)鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個(gè)高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務(wù);利用數(shù)字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調(diào)制器進(jìn)行宏微雙重調(diào)制寫入光強(qiáng)。

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基本原理：干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè)，兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每?jī)纱螜z測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上，這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大，從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的，即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。

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儀器特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)：我公司生產(chǎn)的系列圓柱度測(cè)量?jī)x完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，具有測(cè)量精度高、重復(fù)性好、儀器功能模塊化、中文操作界面等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)?、大型、重型及特殊形狀回轉(zhuǎn)體類零件的圓度、圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進(jìn)行測(cè)量，并能進(jìn)行相關(guān)分析?？蓮V泛用于航空航天、船舶、國防、汽車、軸承等各類精密裝備制造領(lǐng)域?；?標(biāo)準(zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x可用于計(jì)量部門，開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作，基準(zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x(圖1)的主要技術(shù)指標(biāo)詳見技術(shù)參數(shù)。

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在經(jīng)歷了簡(jiǎn)單的投影儀、二次元影像測(cè)量?jī)x、高端三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)這三個(gè)發(fā)展階段之后，目前的精密檢測(cè)儀器更加趨向于智能化、自動(dòng)化和集成化，解決了人工肉眼和卡尺卡規(guī)檢測(cè)的局限性。精密檢測(cè)儀器被廣泛應(yīng)用在工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)上，隨著國內(nèi)工業(yè)的發(fā)展，精密檢測(cè)儀器的市場(chǎng)需求不斷增加。精密檢測(cè)儀器目前已成為工業(yè)發(fā)展不可或缺的一個(gè)產(chǎn)業(yè)，是新興產(chǎn)業(yè)中高速發(fā)展的一個(gè)行業(yè)。新時(shí)代，更多的產(chǎn)品需要提供三維檢測(cè)，這樣才能更好的為現(xiàn)代社會(huì)的發(fā)展提供服務(wù)，所以國內(nèi)的精密檢測(cè)企業(yè)就在二次元影像儀的基礎(chǔ)上研發(fā)生產(chǎn)了三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，從而實(shí)現(xiàn)更高端的產(chǎn)品的三維檢測(cè)任務(wù)。