綏化機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)定制

科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測(cè)量系統(tǒng)相比，在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時(shí)環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對(duì)測(cè)量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測(cè)量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺(tái)階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。

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基本原理：干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè)，兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每?jī)纱螜z測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上，這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大，從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的，即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。

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李力一行還考察了可調(diào)諧(氣體)激光重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，聽取了實(shí)驗(yàn)室主要研究方向、研究?jī)?nèi)容介紹。李力肯定了項(xiàng)目進(jìn)展情況，并鼓勵(lì)科研人員努力工作，確保項(xiàng)目順利完成。為做好國(guó)家首批國(guó)家重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財(cái)務(wù)司副司長(zhǎng)吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長(zhǎng)李力先后來我公司考察，了解我公司的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長(zhǎng)等參加現(xiàn)場(chǎng)考察。

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省委常委、副省長(zhǎng)郝會(huì)龍出席會(huì)議并匯報(bào)，會(huì)議由省委常委、統(tǒng)戰(zhàn)部長(zhǎng)趙敏主持。萬鋼對(duì)黑龍江省省委、省政府為裝備制造業(yè)技術(shù)創(chuàng)新和結(jié)構(gòu)調(diào)整給與的高度重視和有力支持，以及黑龍江省在裝備制造業(yè)發(fā)展中取得的成績(jī)給與充分肯定。他說，為推動(dòng)經(jīng)濟(jì)社會(huì)穩(wěn)步發(fā)展，每年各民主黨派中央都要開展年度重點(diǎn)調(diào)研。今年，致公黨中央圍繞全面深化改革，將“創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)促進(jìn)裝備制造業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整”作為年度重點(diǎn)調(diào)研課題，原因在于裝備制造業(yè)是實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)方式轉(zhuǎn)變和推進(jìn)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造升級(jí)的根本手段，也是科技成果轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力的橋梁和通道。