河北超精密氣浮轉(zhuǎn)臺定制

磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動態(tài)特性好等特點(diǎn)，但發(fā)熱是其致命的弱點(diǎn)，水靜壓軸承的研制正是針對這一問題進(jìn)行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點(diǎn)是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運(yùn)轉(zhuǎn)，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機(jī)床驅(qū)動采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點(diǎn)，限制了運(yùn)動精度的進(jìn)一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機(jī)床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動方式的零件加工工藝極其復(fù)雜，限制了其應(yīng)用。

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大深徑比測量與高精度的統(tǒng)一突破了微深孔徑測量技術(shù),無論對單- -微結(jié)構(gòu)還是宏觀器件的微結(jié)構(gòu)，均可實(shí)現(xiàn)超精密級的測量。自動測量與數(shù)據(jù)分析軟件為客戶量身定制的專業(yè)測量軟件,可以實(shí)現(xiàn)工件的自動測量與數(shù)據(jù)分析,大幅提升測量效率。本土化產(chǎn)品快速供應(yīng)相比國外同類產(chǎn)品具有更優(yōu)異的性能,核心部件全部國產(chǎn)化，60-80個工作日即可供貨,在最短的供貨時間內(nèi),提供最優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。專家級成套解決方案超精密級測量儀器的測量精度常被工作環(huán)境、對象等吞沒。依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團(tuán)隊(duì),可提供超精密測量成套解決方案。

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為做好國家首批國家重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財務(wù)司副司長吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察，了解我公司的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長等參加現(xiàn)場考察。吳學(xué)梯在考察時強(qiáng)調(diào)了國家實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略的重要意義和迫切性，詳細(xì)了解了譚久彬教授所承擔(dān)的“超高分辨率反射式立體層析共焦顯微鏡研制”項(xiàng)目在核心技術(shù)突破、工程樣機(jī)和產(chǎn)品樣機(jī)研制、測試驗(yàn)證、第三方異地測試的準(zhǔn)備、產(chǎn)業(yè)前景和產(chǎn)業(yè)化途徑、知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)、標(biāo)準(zhǔn)制定以及經(jīng)費(fèi)使用等方面的進(jìn)展情況。

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HUE--E1231是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高精度二維轉(zhuǎn)臺。10項(xiàng)中國發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)國家科技重大專項(xiàng)推介產(chǎn)品在北京空間機(jī)電研究所(508所)、沈陽航空發(fā)動機(jī)研究所等單位應(yīng)用HUE--E1231型高精度二維轉(zhuǎn)臺核心技術(shù)指標(biāo)均通過中國國家量儀產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心檢測。兩軸空間垂直度優(yōu)于5秒;角回轉(zhuǎn)誤差優(yōu)于1秒;角定位誤差優(yōu)于1秒;HUE--E1231特征與優(yōu)勢高精度和大承載 采用靜壓氣浮支撐技術(shù)作為回轉(zhuǎn)軸系，轉(zhuǎn)臺軸系回轉(zhuǎn)誤差小，承載可高達(dá)數(shù)十噸。

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超精密氣浮直線基準(zhǔn)圓柱度和直線度的測量，不僅要求儀器主軸的回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)精度高，直線運(yùn)動基準(zhǔn)的精度要求也非常高。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，提供了極高的直線運(yùn)動精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了精心設(shè)計(jì)，保障了儀器整體具有非常高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質(zhì)，經(jīng)過億萬年老化沉積，花崗巖材質(zhì)質(zhì)地均勻，強(qiáng)度高，應(yīng)力變形小，對溫度敏感性小。經(jīng)過精加工保證各零、部件的機(jī)械位置，基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。