河南超精密氣浮轉臺定制

該卡盤精度高、性能穩(wěn)定可靠、操作方便，在航空發(fā)動機制造、裝調檢測和維修領域的應用中得到普遍認可。該液壓卡盤傳遞力可在<8MPa內進行調整，對工件的重復裝卡精度可達2~3μm;卡口尺寸按照用戶要求設計制造。轉接盤航空發(fā)動機裝配專用轉接盤裝置，是根據發(fā)動機轉子部件的結構尺寸和裝配工藝而專門設計制造的，使用中將其安裝在超精密氣浮轉臺上，并將相匹配的裝配件通過止口固定其上，即可進行裝配、檢測(如圖所示)。

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磁懸浮主軸技術，永磁、電磁和氣浮結合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動態(tài)特性好等特點，但發(fā)熱是其致命的弱點，水靜壓軸承的研制正是針對這一問題進行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運轉，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機床驅動采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點，限制了運動精度的進一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機床上得到了應用，但是采用這種傳動方式的零件加工工藝極其復雜，限制了其應用。

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研究目的：研究一種多點并行曝光、且曝光面上各曝光點曝光可控及曝光強度宏微雙重可調的高分辨力的激光直接寫入新技術，以解決傳統(tǒng)激光直寫單點曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結構光學器件的制作效率?；驹恚憾喙獍呖煽夭⑿屑す庵睂懙幕舅枷胧且晕⒐鈱W鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務;利用數字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調制器進行宏微雙重調制寫入光強。

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精密液壓卡盤是為航空發(fā)動機精密裝配測量儀研發(fā)的專用精密定位部件。其精密液壓機械結構緊湊，夾緊力可控，夾緊范圍和結構尺寸根據具體規(guī)格專門設計，可廣泛應用于航空發(fā)動機的研發(fā)、制造和維修領域。該卡盤系機/液一體化精密機械部件，是直接裝卡發(fā)動機轉子軸的專用工裝，靠液壓傳遞夾緊力，靠同步柔性微變形機構實現(xiàn)精密定位。該卡盤分單環(huán)和雙環(huán)兩種，分別為不同型號發(fā)動機所用。該卡盤與超精密氣浮軸系同軸安裝成回轉運動和裝夾一體化系統(tǒng)，用于發(fā)動機的裝配與檢測。

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用途HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉臺主要用于大型和超大型精密機械、光學精密零部件的幾何參量或部件及整機運動參量的計量檢測、以及大型精密裝備分系統(tǒng)和整機裝配測試等。規(guī)格與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉臺臺面直徑范圍為①700mm～①3000，mm，設計有T型槽或固定子L的臺面形式，特殊需要可單獨定做；臺體承重從800kg到20000kg，（技術指標見附表）。結構與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉臺配置精密氣浮軸系，兼有高回轉精度、高剛度和高承載能力等特點。轉臺高精度旋轉時無噪聲、無振動、運動平穩(wěn)。

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大型高速回轉裝備超精密裝配測量儀由哈爾濱工業(yè)大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯(lián)合開發(fā)。主要用于航空發(fā)動機、艦船發(fā)動機和電站燃機機匣、轉子、葉盤組件，盤、軸類零件和回轉體零、部件的跳動、極值位置、同心度、圓度、平面度、垂直度和同軸度的檢測，并對檢測數據進行記錄、存儲、并建立數據庫，通過計算機對誤差數據進行評價和分析，得出正確的測量結果并出具測試報告。