江蘇超精密氣浮轉(zhuǎn)臺公司

基本原理：干涉儀對深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測，兩次測量區(qū)域之間有一定的重疊。將每兩次檢測重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個曲面上，這樣可不斷地將測量范圍擴(kuò)大，從而獲得整個待測元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測量得到的波前相位值是一致的，即兩次測量相位數(shù)據(jù)位于同一個曲面上。而在實(shí)際測量過程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測量模型，實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測量與評定。

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科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時(shí)環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。

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HUE-T231大型高速回轉(zhuǎn)裝備超精密裝配測量儀(單立柱雙通道)由哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)。主要用于航空發(fā)動機(jī)、艦船發(fā)動機(jī)和電站燃機(jī)機(jī)匣、轉(zhuǎn)子、葉盤組件，盤、軸類零件和回轉(zhuǎn)體零部件的跳動、極值位置、同心度、圓度、平面度、垂直度和同軸度的檢測，并對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、存儲、并建立數(shù)據(jù)庫，通過計(jì)算機(jī)對誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行評價(jià)和分析，***終得出正確的測量結(jié)果并出具測試報(bào)告。

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精密檢測儀器與我們的日常生活息息相關(guān)，但很多人對此并不甚了解。精密檢測儀器自上世紀(jì)九十年代起開始在國內(nèi)被廣泛使用，成為檢測工業(yè)產(chǎn)品必備的設(shè)備。在經(jīng)歷了簡單的投影儀、二次元影像測量儀、高端三坐標(biāo)測量機(jī)這三個發(fā)展階段之后，目前的精密檢測儀器更加趨向于智能化、自動化和集成化，解決了人工肉精密檢測儀器與我們的日常生活息息相關(guān)，但很多人對此并不甚了解。精密檢測儀器自上世紀(jì)九十年代起開始在國內(nèi)被廣泛使用，成為檢測工業(yè)產(chǎn)品必備的設(shè)備。

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大深徑比測量與高精度的統(tǒng)一突破了微深孔徑測量技術(shù),無論對單- -微結(jié)構(gòu)還是宏觀器件的微結(jié)構(gòu)，均可實(shí)現(xiàn)超精密級的測量。自動測量與數(shù)據(jù)分析軟件為客戶量身定制的專業(yè)測量軟件,可以實(shí)現(xiàn)工件的自動測量與數(shù)據(jù)分析,大幅提升測量效率。本土化產(chǎn)品快速供應(yīng)相比國外同類產(chǎn)品具有更優(yōu)異的性能,核心部件全部國產(chǎn)化，60-80個工作日即可供貨,在最短的供貨時(shí)間內(nèi),提供最優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。專家級成套解決方案超精密級測量儀器的測量精度常被工作環(huán)境、對象等吞沒。依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團(tuán)隊(duì),可提供超精密測量成套解決方案。