蘇州超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)公司

科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：建立起一種反映傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等影響因素和作用規(guī)律的子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，依據(jù)該測(cè)量模型，可建立起一種對(duì)上述影響因素有較強(qiáng)抑制能力的測(cè)量?jī)x器，進(jìn)而解決凸凹深度非球面測(cè)量問題。研究目的：研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，解決傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)承載能力小、剛度低、抗擾動(dòng)能力差等問題，以期進(jìn)一步提高氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的回轉(zhuǎn)精度，提高抗擾動(dòng)能力。

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由我公司承擔(dān)的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機(jī)計(jì)量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過預(yù)驗(yàn)收與交付，這標(biāo)志著我公司對(duì)于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個(gè)新的臺(tái)階。光刻機(jī)被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”，其中的計(jì)量框架是整個(gè)光刻機(jī)的工作基準(zhǔn)平臺(tái)，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，僅定位銷孔一百二十多個(gè)；螺紋孔四百多個(gè)；基礎(chǔ)框架是整個(gè)光刻機(jī)的基本支持體，尺寸達(dá)2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個(gè)。計(jì)量框架與基礎(chǔ)框架中對(duì)任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當(dāng)高，正常的制造周期為6個(gè)月。

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因此，高端通用試驗(yàn)儀器設(shè)備。將集中力量，重點(diǎn)突破一批我國需求量大、嚴(yán)重依賴進(jìn)口、價(jià)格昂貴的試驗(yàn)儀器設(shè)備，攻克若干試驗(yàn)儀器設(shè)備核心技術(shù)和關(guān)鍵部件，帶動(dòng)重要領(lǐng)域試驗(yàn)儀器設(shè)備整體水平提升，打破國外壟斷。第二，前沿重大試驗(yàn)儀器設(shè)備。將依據(jù)我國在世界新一輪科技革命中的戰(zhàn)略部署，研發(fā)若干具有國際領(lǐng)先水平的重大試驗(yàn)儀器設(shè)備，有效支撐我國開展世界一流科學(xué)研究、有特色科學(xué)研究，帶動(dòng)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

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西方工業(yè)化發(fā)展了幾百年，摸索出的一條重要經(jīng)驗(yàn)就是通過市場(chǎng)和用戶的深度互動(dòng)，對(duì)每一次優(yōu)化創(chuàng)新進(jìn)行確認(rèn)，經(jīng)過時(shí)間的打磨，最終形成本國制造的歷史積淀?！凹伎蛇M(jìn)乎道，藝可通乎神。”對(duì)產(chǎn)品不斷改進(jìn)、創(chuàng)新和優(yōu)化，是任何一家企業(yè)求得長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展的基本前提。200年前，德國人德萊斯發(fā)明了木質(zhì)自行車，不經(jīng)意間開啟了一個(gè)交通提速時(shí)代。如今，德國人越來越注重自己組裝自行車，腳踏板、鞍座和扶手等配件將根據(jù)騎車人的體形、使用習(xí)慣而定。

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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于高精度機(jī)械、光學(xué)零部件等幾何參量和運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)及分系統(tǒng)與整機(jī)裝配測(cè)試等?！疽?guī)格與工作特性】臺(tái)面直徑范圍為中200mm一中600mm，設(shè)計(jì)有T型槽或固定孔的臺(tái)面形式，特殊需要可單獨(dú)定做;臺(tái)體承重從100kg到600kgo【結(jié)構(gòu)與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計(jì)量/~測(cè)量轉(zhuǎn)臺(tái)采用多項(xiàng)發(fā)明專利技術(shù)，進(jìn)行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤(rùn)滑與支承參數(shù)設(shè)計(jì)，使轉(zhuǎn)臺(tái)兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺(tái)工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運(yùn)動(dòng)和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動(dòng)、嘯叫、噪聲及高頻微振等。

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特征與優(yōu)勢(shì)高精度回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)本儀器通過氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)提供回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，氣浮軸材料選用優(yōu)質(zhì)合金鋼經(jīng)滲氮處理，既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防銹功能.調(diào)心調(diào)傾工作臺(tái)調(diào)心調(diào)傾工作臺(tái)安裝到氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的臺(tái)面上，具有調(diào)心和調(diào)傾功能，具有剛度高、精度高、結(jié)構(gòu)堅(jiān)固耐用的特點(diǎn).雙橫臂自動(dòng)升降立柱由橫臂及立柱機(jī)構(gòu)組成主要功能是固定傳感器的空間位置.立柱可自動(dòng)或手動(dòng)升降，水平運(yùn)動(dòng)可手動(dòng)進(jìn)行快速大范圍調(diào)整同時(shí)可以微調(diào).通過傳感器夾持機(jī)構(gòu)可將傳感器在測(cè)量平面一定范圍內(nèi)任意調(diào)整姿態(tài)，并可以測(cè)量?jī)?nèi)孔.