青海航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試儀廠家

研究目的：研究一種多點(diǎn)并行曝光、且曝光面上各曝光點(diǎn)曝光可控及曝光強(qiáng)度宏微雙重可調(diào)的高分辨力的激光直接寫入新技術(shù)，以解決傳統(tǒng)激光直寫單點(diǎn)曝光制作效率低的問題，提高微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的制作效率?；驹恚憾喙獍呖煽夭⑿屑す庵睂懙幕舅枷胧且晕⒐鈱W(xué)鏡陣列作為直寫物鏡，將寫入激光分別聚焦為多個(gè)高分辨力寫入光斑，以分散直寫任務(wù);利用數(shù)字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光，并采用聲光調(diào)制器進(jìn)行宏微雙重調(diào)制寫入光強(qiáng)。

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圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進(jìn)行測(cè)量，并能進(jìn)行相關(guān)分析?？蓮V泛用于航空航天、船舶、國(guó)防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領(lǐng)域?；鶞?zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x可用于計(jì)量部門，開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色：超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)主軸精度是圓柱度儀回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的重要指標(biāo)。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術(shù)，經(jīng)特殊加工工藝研制，因此保證了儀器主軸具有超精密級(jí)的軸向與徑向回轉(zhuǎn)精度(0.015~0.05μm)、角回轉(zhuǎn)精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能，保障了儀器具有高可靠性和長(zhǎng)久的使用壽命。

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基本原理：在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎(chǔ)上，將惠普爾理論與壓力對(duì)數(shù)分布假設(shè)相結(jié)合，對(duì)傳統(tǒng)氣體潤(rùn)滑理論進(jìn)行修正和完善。建立基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(CTGB)的歸一化解析模型，在以剛度為目標(biāo)函數(shù)的前提下，對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行全局優(yōu)化，從而得到基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)參數(shù)?？茖W(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：對(duì)超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)中動(dòng)靜壓之間的耦合規(guī)律進(jìn)行建模。解析表述了動(dòng)靜壓之間的壓力耦合、結(jié)構(gòu)耦合以及壓力與結(jié)構(gòu)之間的交叉耦合。該技術(shù)大幅度提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的剛度、承載能力和抗擾動(dòng)能力，提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的綜合性能。實(shí)驗(yàn)表明：與傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(STGB)相比，承載能力提高4倍以上，剛度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲線對(duì)比見Fig.1-3。

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超精密制造已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地，包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測(cè)量車間，2820㎡的精密/超精密加工車間，2110㎡的精密裝校車間，約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車間;配套超潔凈溫度/濕度控制機(jī)組，大型超精密氣浮隔微振設(shè)施，三坐標(biāo)行吊車等配套設(shè)施。投資7000余萬元購(gòu)置德國(guó)五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控鏜銑加工中心、美國(guó)摩爾坐標(biāo)磨床，光學(xué)曲線磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐標(biāo)等大型精密/超精密加工與測(cè)量設(shè)備70余臺(tái)(套)，具備了設(shè)計(jì)、研發(fā)、中試和生產(chǎn)大型高端超精密儀器與裝備產(chǎn)品的能力。公司已通過GJB9001B-2009《質(zhì)量管理體系》認(rèn)證，以顧客為關(guān)注焦點(diǎn)，與客戶廣交朋友，不斷持續(xù)改進(jìn)，以顧客滿意為目標(biāo)。

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基本原理：干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè)，兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每?jī)纱螜z測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上，這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大，從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的，即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。