河北機械轉(zhuǎn)臺公司

大型高速回轉(zhuǎn)裝備超精密裝配測量儀由哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)。主要用于航空發(fā)動機、艦船發(fā)動機和電站燃機機匣、轉(zhuǎn)子、葉盤組件，盤、軸類零件和回轉(zhuǎn)體零、部件的跳動、極值位置、同心度、圓度、平面度、垂直度和同軸度的檢測，并對檢測數(shù)據(jù)進行記錄、存儲、并建立數(shù)據(jù)庫，通過計算機對誤差數(shù)據(jù)進行評價和分析，得出正確的測量結(jié)果并出具測試報告。

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先進控制策略 高精度二維轉(zhuǎn)臺采用無刷直流電機驅(qū)動;結(jié)合高精度碼盤構(gòu)成位置閉環(huán)伺服系統(tǒng)，角位置定位精度可優(yōu)于1角秒;并配有高穩(wěn)定性數(shù)顯系統(tǒng)本土化產(chǎn)品快速供應(yīng)!產(chǎn)品核心技術(shù)和部件均來自國內(nèi)，3~4個月施工完成并調(diào)試結(jié)束，無需歷經(jīng)嚴苛復(fù)雜的進出口安全與商務(wù)審批過程!專家級成套解決方案!依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團隊，可提供超精密轉(zhuǎn)臺定制解決方案!

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科學(xué)意義及應(yīng)用價值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。

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基本原理：在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎(chǔ)上，將惠普爾理論與壓力對數(shù)分布假設(shè)相結(jié)合，對傳統(tǒng)氣體潤滑理論進行修正和完善。建立基于動靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(CTGB)的歸一化解析模型，在以剛度為目標函數(shù)的前提下，對結(jié)構(gòu)參數(shù)進行全局優(yōu)化，從而得到基于動靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準的結(jié)構(gòu)參數(shù)。科學(xué)意義及應(yīng)用價值：對超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準中動靜壓之間的耦合規(guī)律進行建模。解析表述了動靜壓之間的壓力耦合、結(jié)構(gòu)耦合以及壓力與結(jié)構(gòu)之間的交叉耦合。該技術(shù)大幅度提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準的剛度、承載能力和抗擾動能力，提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準的綜合性能。實驗表明：與傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(STGB)相比，承載能力提高4倍以上，剛度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲線對比見Fig.1-3。