福州機(jī)械轉(zhuǎn)臺廠家
發(fā)布時間:2022-07-31 01:36:52福州機(jī)械轉(zhuǎn)臺廠家
陸昊省長和楊雄市長等領(lǐng)導(dǎo)考察了一批大型超精密儀器產(chǎn)品的中試與生產(chǎn)情況、市場化前景和與上海有關(guān)單位的合作情況。仔細(xì)觀看了一批產(chǎn)品樣機(jī)的演示,如國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)成果 “工業(yè)用共焦顯微鏡”、“隔振地基”“雙頻激光干涉儀”“生物醫(yī)學(xué)用共焦顯微鏡”、“大口徑非球面微結(jié)構(gòu)測量用共焦顯微鏡”產(chǎn)品;大型高端發(fā)動機(jī)裝配測試系列產(chǎn)品 “兩截面大型超精密裝配/測量儀”、“四截面大型超精密裝配/測量儀”、“五截面大型超精密裝配/測量儀”和“超大型同軸度測量標(biāo)準(zhǔn)裝置”;“4米直徑超精密一體化氣浮研拋/測量機(jī)”和“超大型精密儀器及系統(tǒng)氣浮隔微振裝置”等。
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研究目的:研究一種多點(diǎn)并行曝光、且曝光面上各曝光點(diǎn)曝光可控及曝光強(qiáng)度宏微雙重可調(diào)的高分辨力的激光直接寫入新技術(shù),以解決傳統(tǒng)激光直寫單點(diǎn)曝光制作效率低的問題,提高微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的制作效率?;驹恚憾喙獍呖煽夭⑿屑す庵睂懙幕舅枷胧且晕⒐鈱W(xué)鏡陣列作為直寫物鏡,將寫入激光分別聚焦為多個高分辨力寫入光斑,以分散直寫任務(wù);利用數(shù)字微鏡DMD控制各子光斑是否曝光,并采用聲光調(diào)制器進(jìn)行宏微雙重調(diào)制寫入光強(qiáng)。
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基本原理:在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎(chǔ)上,將惠普爾理論與壓力對數(shù)分布假設(shè)相結(jié)合,對傳統(tǒng)氣體潤滑理論進(jìn)行修正和完善。建立基于動靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(CTGB)的歸一化解析模型,在以剛度為目標(biāo)函數(shù)的前提下,對結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行全局優(yōu)化,從而得到基于動靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)參數(shù)??茖W(xué)意義及應(yīng)用價值:對超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)中動靜壓之間的耦合規(guī)律進(jìn)行建模。解析表述了動靜壓之間的壓力耦合、結(jié)構(gòu)耦合以及壓力與結(jié)構(gòu)之間的交叉耦合。該技術(shù)大幅度提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的剛度、承載能力和抗擾動能力,提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的綜合性能。實(shí)驗(yàn)表明:與傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(STGB)相比,承載能力提高4倍以上,剛度提高6倍以上,流量略有增大,性能曲線對比見Fig.1-3。
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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于高精度機(jī)械、光學(xué)零部件等幾何參量和運(yùn)動參量的計(jì)量檢測及分系統(tǒng)與整機(jī)裝配測試等?!疽?guī)格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm,設(shè)計(jì)有T型槽或固定孔的臺面形式,特殊需要可單獨(dú)定做;臺體承重從100kg到600kgo【結(jié)構(gòu)與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計(jì)量/~測量轉(zhuǎn)臺采用多項(xiàng)發(fā)明專利技術(shù),進(jìn)行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤滑與支承參數(shù)設(shè)計(jì),使轉(zhuǎn)臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺工作狀態(tài)平穩(wěn),在運(yùn)動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。
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015年6月8日下午15:40至16:20,上海市市長楊雄一行在黑龍江省省長陸昊、哈爾濱市委書記陳海波,哈爾濱工業(yè)大學(xué)校長周玉等領(lǐng)導(dǎo)的陪同下來到哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司進(jìn)行考察。該公司是哈爾濱工業(yè)大學(xué)超精密光電儀器工程研究所在哈爾濱松北區(qū)建成的高端超精密儀器產(chǎn)業(yè)化基地。在考察過程中,譚久彬教授向陸昊省長和楊雄市長等領(lǐng)導(dǎo)詳細(xì)介紹了研究所與該產(chǎn)業(yè)化基地構(gòu)成的產(chǎn)學(xué)研一體化運(yùn)作模式,研究所完成的一批完全自主創(chuàng)新的大型高端超精密儀器研發(fā)成果在產(chǎn)業(yè)化方面取得的重要進(jìn)展。