西藏機械轉臺公司

科學意義及應用價值：融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結構、微臺階、微構槽、集成電路線寬等。

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李力一行還考察了可調(diào)諧(氣體)激光重點實驗室，聽取了實驗室主要研究方向、研究內(nèi)容介紹。李力肯定了項目進展情況，并鼓勵科研人員努力工作，確保項目順利完成。為做好國家首批國家重大科學儀器開發(fā)專項項目驗收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財務司副司長吳學梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察，了解我公司的國家重大科學儀器設備開發(fā)專項項目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關領導，我公司董事長等參加現(xiàn)場考察。

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在保證焦斑質(zhì)量的同時，可獲得大的曝光區(qū)域;引入光強宏微雙重調(diào)制裝置，提高了曝光光強的調(diào)制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調(diào)制器依據(jù)像素部對寫入激光分束，解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術特別適用于微陣列和微結構光學器件制作，具有大范圍、高精度激光寫入的優(yōu)點。研究目的：研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。

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研究目的：構建一種具有橫向光學超分辨成像特性的新型共焦顯微成像特性，解決光束合理整形問題并突破衍射極限，實現(xiàn)一種具有橫向光學超分辨能力的共焦顯微成像技術?；驹恚簯枚鈱W器件，基于衍射原理將高斯激光光束整形為環(huán)形光束，通過設計環(huán)形光內(nèi)環(huán)半徑與外環(huán)半徑之比即環(huán)形光內(nèi)孔歸一化半徑ε，使將低頻光束頻移到高頻通帶，以減小共焦顯微鏡愛里斑的主瓣寬度，進而達到提高其橫向分辨力和擴展其量程范圍的目的。

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大深徑比測量與高精度的統(tǒng)一突破了微深孔徑測量技術,無論對單- -微結構還是宏觀器件的微結構，均可實現(xiàn)超精密級的測量。自動測量與數(shù)據(jù)分析軟件為客戶量身定制的專業(yè)測量軟件,可以實現(xiàn)工件的自動測量與數(shù)據(jù)分析,大幅提升測量效率。本土化產(chǎn)品快速供應相比國外同類產(chǎn)品具有更優(yōu)異的性能,核心部件全部國產(chǎn)化，60-80個工作日即可供貨,在最短的供貨時間內(nèi),提供最優(yōu)質(zhì)的服務。專家級成套解決方案超精密級測量儀器的測量精度常被工作環(huán)境、對象等吞沒。依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團隊,可提供超精密測量成套解決方案。