北京機械轉(zhuǎn)臺定制

HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于高精度機械、光學(xué)零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統(tǒng)與整機裝配測試等?！疽?guī)格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm，設(shè)計有T型槽或固定孔的臺面形式，特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo【結(jié)構(gòu)與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉(zhuǎn)臺采用多項發(fā)明專利技術(shù)，進行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計和氣體潤滑與支承參數(shù)設(shè)計，使轉(zhuǎn)臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。

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先進控制策略 高精度二維轉(zhuǎn)臺采用無刷直流電機驅(qū)動;結(jié)合高精度碼盤構(gòu)成位置閉環(huán)伺服系統(tǒng)，角位置定位精度可優(yōu)于1角秒;并配有高穩(wěn)定性數(shù)顯系統(tǒng)本土化產(chǎn)品快速供應(yīng)!產(chǎn)品核心技術(shù)和部件均來自國內(nèi)，3~4個月施工完成并調(diào)試結(jié)束，無需歷經(jīng)嚴苛復(fù)雜的進出口安全與商務(wù)審批過程!專家級成套解決方案!依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團隊，可提供超精密轉(zhuǎn)臺定制解決方案!

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他對項目組已經(jīng)取得的標志性成果、研發(fā)平臺建設(shè)和隊伍建設(shè)等予以充分肯定，對課題組在參與國際、國家標準制定方面所做的工作給予認可，還特別對項目組在承擔(dān)專項任務(wù)中進一步衍生開發(fā)出新型高度測量儀器的原始創(chuàng)新性成果表示關(guān)注。吳學(xué)梯一行現(xiàn)場考察了位于松北科技創(chuàng)新城的哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司的產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)和儀器產(chǎn)業(yè)化情況。李力在考察時了解了超精密光電儀器工程研究所在高端儀器與裝備方面的科研情況、重大科學(xué)儀器開發(fā)專項項目執(zhí)行情況，并重點詢問了相關(guān)技術(shù)及其核心零部件制備裝備與工藝的進展情況，對研究所的系統(tǒng)性創(chuàng)新成果和工程攻關(guān)能力給予高度評價，并鼓勵項目組進一步加快科研成果的工程研發(fā)、工程應(yīng)用和技術(shù)產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。

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科學(xué)意義及應(yīng)用價值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。