成都機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)公司

HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開(kāi)發(fā)的新一代高空間分辨率光學(xué)共焦顯微鏡。 產(chǎn)品系大型高端科學(xué)儀器，綜合了國(guó)內(nèi)外優(yōu)勢(shì)技術(shù)方案，技術(shù)密集度極高，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)各類樣品表面微結(jié)構(gòu)的高分辨率三維測(cè)量。使用環(huán)境，溫度要求：20℃±1℃;濕度要求：小于60%RH;隔振要求：儀器應(yīng)放在隔振基礎(chǔ)上，周圍無(wú)劇烈振動(dòng)和沖擊;電磁場(chǎng)要求：使用現(xiàn)場(chǎng)周圍無(wú)強(qiáng)電磁干擾。

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研究目的：構(gòu)建一種具有橫向光學(xué)超分辨成像特性的新型共焦顯微成像特性，解決光束合理整形問(wèn)題并突破衍射極限，實(shí)現(xiàn)一種具有橫向光學(xué)超分辨能力的共焦顯微成像技術(shù)?；驹恚簯?yīng)用二元光學(xué)器件，基于衍射原理將高斯激光光束整形為環(huán)形光束，通過(guò)設(shè)計(jì)環(huán)形光內(nèi)環(huán)半徑與外環(huán)半徑之比即環(huán)形光內(nèi)孔歸一化半徑ε，使將低頻光束頻移到高頻通帶，以減小共焦顯微鏡愛(ài)里斑的主瓣寬度，進(jìn)而達(dá)到提高其橫向分辨力和擴(kuò)展其量程范圍的目的。

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當(dāng)然，對(duì)于精密檢測(cè)儀器這個(gè)國(guó)內(nèi)新興的行業(yè)來(lái)說(shuō)，也會(huì)有高潮和低谷的存在，因此，企業(yè)需要有一個(gè)發(fā)展的規(guī)劃，這樣才能帶領(lǐng)行業(yè)不斷的超越和發(fā)展，最終成為領(lǐng)域里的領(lǐng)頭羊。業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，我國(guó)精密檢測(cè)技術(shù)和儀器的現(xiàn)狀仍然不甚理想，主要原因在于此類研發(fā)企業(yè)在國(guó)內(nèi)是稀缺資源。隨著中國(guó)工業(yè)自動(dòng)化和產(chǎn)業(yè)升級(jí)的發(fā)展趨勢(shì)，定向研發(fā)的精密檢測(cè)儀器在工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域?qū)⒂泻艽蟮氖袌?chǎng)空間，與此同時(shí)，中國(guó)要成為工業(yè)強(qiáng)國(guó)，也必須重視研發(fā)與創(chuàng)新。

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中小企業(yè)是德國(guó)經(jīng)濟(jì)的重要支柱。它們從不“嫌棄”自己的產(chǎn)品和領(lǐng)域不夠“高大上”，而是孜孜不倦，力求把產(chǎn)品做到極致，達(dá)到世界領(lǐng)先水平，因此這些企業(yè)也被冠以“隱形冠軍”的美名。曾參觀過(guò)德國(guó)一家生產(chǎn)工業(yè)風(fēng)扇的中小企業(yè)，為了檢測(cè)風(fēng)扇運(yùn)行時(shí)的噪音，特意建造了先進(jìn)的靜音實(shí)驗(yàn)室，置身其中，可以聽(tīng)到自己心跳的聲音。為提升品質(zhì)舍得投入，敢于投入，這樣的產(chǎn)品無(wú)疑具有強(qiáng)大的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。如果說(shuō)責(zé)任感和完美主義貫穿于德國(guó)企業(yè)文化的始終，那么家庭傳承則為此打下了重要的基礎(chǔ)。

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陸昊省長(zhǎng)和楊雄市長(zhǎng)等領(lǐng)導(dǎo)考察了一批大型超精密儀器產(chǎn)品的中試與生產(chǎn)情況、市場(chǎng)化前景和與上海有關(guān)單位的合作情況。仔細(xì)觀看了一批產(chǎn)品樣機(jī)的演示，如國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)成果 “工業(yè)用共焦顯微鏡”、“隔振地基”“雙頻激光干涉儀”“生物醫(yī)學(xué)用共焦顯微鏡”、“大口徑非球面微結(jié)構(gòu)測(cè)量用共焦顯微鏡”產(chǎn)品;大型高端發(fā)動(dòng)機(jī)裝配測(cè)試系列產(chǎn)品 “兩截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”、“四截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”、“五截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”和“超大型同軸度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)裝置”;“4米直徑超精密一體化氣浮研拋/測(cè)量機(jī)”和“超大型精密儀器及系統(tǒng)氣浮隔微振裝置”等。

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HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要用于高精度測(cè)量?jī)x器、光學(xué)檢測(cè)儀器、精密/超精密光機(jī)電一體化裝備、精密/超精密機(jī)床等先進(jìn)裝備制造領(lǐng)域，是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向和定位的關(guān)鍵部件。HHUE--D1331氣浮導(dǎo)軌已成系列，其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見(jiàn)表2);該系列氣浮導(dǎo)軌具有優(yōu)異的直線運(yùn)動(dòng)精度和良好的剛度，直線運(yùn)動(dòng)誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨(dú)設(shè)計(jì)。