太原機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)定制

超精密氣浮直線基準(zhǔn)圓柱度和直線度的測量，不僅要求儀器主軸的回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)精度高，直線運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)的精度要求也非常高。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，提供了極高的直線運(yùn)動(dòng)精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了精心設(shè)計(jì)，保障了儀器整體具有非常高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質(zhì)，經(jīng)過億萬年老化沉積，花崗巖材質(zhì)質(zhì)地均勻，強(qiáng)度高，應(yīng)力變形小，對(duì)溫度敏感性小。經(jīng)過精加工保證各零、部件的機(jī)械位置，基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。

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該卡盤精度高、性能穩(wěn)定可靠、操作方便，在航空發(fā)動(dòng)機(jī)制造、裝調(diào)檢測和維修領(lǐng)域的應(yīng)用中得到普遍認(rèn)可。該液壓卡盤傳遞力可在<8MPa內(nèi)進(jìn)行調(diào)整，對(duì)工件的重復(fù)裝卡精度可達(dá)2~3μm;卡口尺寸按照用戶要求設(shè)計(jì)制造。轉(zhuǎn)接盤航空發(fā)動(dòng)機(jī)裝配專用轉(zhuǎn)接盤裝置，是根據(jù)發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)子部件的結(jié)構(gòu)尺寸和裝配工藝而專門設(shè)計(jì)制造的，使用中將其安裝在超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)上，并將相匹配的裝配件通過止口固定其上，即可進(jìn)行裝配、檢測(如圖所示)。

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由于SMEE的任務(wù)要求緊張，我公司僅用了三個(gè)月的時(shí)間完成了制造任務(wù)。2017年2月初，SMEE的質(zhì)量控制人員、設(shè)計(jì)人員、工藝人員在我公司進(jìn)行了驗(yàn)收測試，歷經(jīng)5天的時(shí)間完成了整個(gè)測試。產(chǎn)品經(jīng)過清潔、包裝等工作，于2017年2月15日由專車運(yùn)往上海。新春伊始北京大學(xué)教授、中國科學(xué)院程和平院士一行在完成了對(duì)哈工大的訪問之后,于2017年2月15日,在譚久彬的陪同下到我公司參觀考察。程和平院士一行聽取了譚久彬教授關(guān)于公司基礎(chǔ)能力、研發(fā)能力、生產(chǎn)能力、典型產(chǎn)品等情況的介紹，考察了極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項(xiàng)、國家重大科學(xué)儀器研發(fā)專項(xiàng)等的研制情況。

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當(dāng)然，對(duì)于精密檢測儀器這個(gè)國內(nèi)新興的行業(yè)來說，也會(huì)有高潮和低谷的存在，因此，企業(yè)需要有一個(gè)發(fā)展的規(guī)劃，這樣才能帶領(lǐng)行業(yè)不斷的超越和發(fā)展，最終成為領(lǐng)域里的領(lǐng)頭羊。業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，我國精密檢測技術(shù)和儀器的現(xiàn)狀仍然不甚理想，主要原因在于此類研發(fā)企業(yè)在國內(nèi)是稀缺資源。隨著中國工業(yè)自動(dòng)化和產(chǎn)業(yè)升級(jí)的發(fā)展趨勢，定向研發(fā)的精密檢測儀器在工業(yè)檢測領(lǐng)域?qū)⒂泻艽蟮氖袌隹臻g，與此同時(shí)，中國要成為工業(yè)強(qiáng)國，也必須重視研發(fā)與創(chuàng)新。

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科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時(shí)環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對(duì)測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺(tái)階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。