武漢超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)廠家
發(fā)布時(shí)間:2022-09-02 01:36:50武漢超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)廠家
HUE--E1231是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開(kāi)發(fā)的新一代高精度二維轉(zhuǎn)臺(tái)。10項(xiàng)中國(guó)發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)國(guó)家科技重大專項(xiàng)推介產(chǎn)品在北京空間機(jī)電研究所(508所)、沈陽(yáng)航空發(fā)動(dòng)機(jī)研究所等單位應(yīng)用HUE--E1231型高精度二維轉(zhuǎn)臺(tái)核心技術(shù)指標(biāo)均通過(guò)中國(guó)國(guó)家量?jī)x產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心檢測(cè)。兩軸空間垂直度優(yōu)于5秒;角回轉(zhuǎn)誤差優(yōu)于1秒;角定位誤差優(yōu)于1秒;HUE--E1231特征與優(yōu)勢(shì)高精度和大承載 采用靜壓氣浮支撐技術(shù)作為回轉(zhuǎn)軸系,轉(zhuǎn)臺(tái)軸系回轉(zhuǎn)誤差小,承載可高達(dá)數(shù)十噸。
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研究目的:構(gòu)建一種具有橫向光學(xué)超分辨成像特性的新型共焦顯微成像特性,解決光束合理整形問(wèn)題并突破衍射極限,實(shí)現(xiàn)一種具有橫向光學(xué)超分辨能力的共焦顯微成像技術(shù)?;驹恚簯?yīng)用二元光學(xué)器件,基于衍射原理將高斯激光光束整形為環(huán)形光束,通過(guò)設(shè)計(jì)環(huán)形光內(nèi)環(huán)半徑與外環(huán)半徑之比即環(huán)形光內(nèi)孔歸一化半徑ε,使將低頻光束頻移到高頻通帶,以減小共焦顯微鏡愛(ài)里斑的主瓣寬度,進(jìn)而達(dá)到提高其橫向分辨力和擴(kuò)展其量程范圍的目的。
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在保證焦斑質(zhì)量的同時(shí),可獲得大的曝光區(qū)域;引入光強(qiáng)宏微雙重調(diào)制裝置,提高了曝光光強(qiáng)的調(diào)制分辨力,從而解決控制輪廓精度的問(wèn)題;通過(guò)空間光調(diào)制器依據(jù)像素部對(duì)寫(xiě)入激光分束,解決了多光路并行同步直寫(xiě)光束的控制問(wèn)題。該技術(shù)特別適用于微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件制作,具有大范圍、高精度激光寫(xiě)入的優(yōu)點(diǎn)。研究目的:研究一種基于多個(gè)子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測(cè)量技術(shù),解決干涉儀測(cè)量范圍受限和分辨率受限問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測(cè)量。
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超精密制造已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地,包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測(cè)量車間,2820㎡的精密/超精密加工車間,2110㎡的精密裝校車間,約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車間;配套超潔凈溫度/濕度控制機(jī)組,大型超精密氣浮隔微振設(shè)施,三坐標(biāo)行吊車等配套設(shè)施。投資7000余萬(wàn)元購(gòu)置德國(guó)五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控鏜銑加工中心、美國(guó)摩爾坐標(biāo)磨床,光學(xué)曲線磨床,精密平面磨床,立式加工中心,三坐標(biāo)等大型精密/超精密加工與測(cè)量設(shè)備70余臺(tái)(套),具備了設(shè)計(jì)、研發(fā)、中試和生產(chǎn)大型高端超精密儀器與裝備產(chǎn)品的能力。公司已通過(guò)GJB9001B-2009《質(zhì)量管理體系》認(rèn)證,以顧客為關(guān)注焦點(diǎn),與客戶廣交朋友,不斷持續(xù)改進(jìn),以顧客滿意為目標(biāo)。
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為做好國(guó)家首批國(guó)家重大科學(xué)儀器開(kāi)發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作,6月26日至27日,科技部科研條件與財(cái)務(wù)司副司長(zhǎng)吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長(zhǎng)李力先后來(lái)我公司考察,了解我公司的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo),我公司董事長(zhǎng)等參加現(xiàn)場(chǎng)考察。吳學(xué)梯在考察時(shí)強(qiáng)調(diào)了國(guó)家實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略的重要意義和迫切性,詳細(xì)了解了譚久彬教授所承擔(dān)的“超高分辨率反射式立體層析共焦顯微鏡研制”項(xiàng)目在核心技術(shù)突破、工程樣機(jī)和產(chǎn)品樣機(jī)研制、測(cè)試驗(yàn)證、第三方異地測(cè)試的準(zhǔn)備、產(chǎn)業(yè)前景和產(chǎn)業(yè)化途徑、知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)、標(biāo)準(zhǔn)制定以及經(jīng)費(fèi)使用等方面的進(jìn)展情況。