青島機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)定制

圓柱度測(cè)量?jī)x是我公司生產(chǎn)的專業(yè)化、系列化產(chǎn)品之一，至今已有近三十余年的歷史。產(chǎn)品包括：大型圓柱度測(cè)量?jī)x、精密/超精密型圓柱度測(cè)量?jī)x、基/標(biāo)準(zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x，已形成系列化產(chǎn)品，解決了多項(xiàng)國家重大裝備造項(xiàng)目中核心器部件的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)測(cè)量難題;并在我國航空航天、國防和精密裝備造領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。與其直接相關(guān)的技術(shù)已獲100余項(xiàng)發(fā)明專利。此外，我公司可為客戶定制一些特殊需求的專用精密/超精密光機(jī)電一體化測(cè)量?jī)x器、測(cè)試設(shè)備和試驗(yàn)裝備等。

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調(diào)研組將通過調(diào)研，為國家制定支持裝備制造業(yè)振興的政策措施建言獻(xiàn)策，幫助解決發(fā)展中面臨的矛盾和問題。萬鋼指出，創(chuàng)新要有信心和決心，裝備制造業(yè)是黑龍江省的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)和支柱產(chǎn)業(yè)，具有濃厚的產(chǎn)業(yè)文化、深厚的產(chǎn)業(yè)傳統(tǒng)、完善的產(chǎn)業(yè)隊(duì)伍和一個(gè)有利于產(chǎn)業(yè)發(fā)展的環(huán)境，進(jìn)而形成了綜合優(yōu)勢(shì)，再借助豐富的資源，就可以形成具有龍江特色的產(chǎn)業(yè)集群。他強(qiáng)調(diào)，要推動(dòng)產(chǎn)業(yè)走向高端，支持龍頭骨干企業(yè)，依托重大工程，著力提升自主創(chuàng)新、開拓市場(chǎng)能力;支持新興產(chǎn)業(yè)搶占高峰，著力加強(qiáng)創(chuàng)新能力的建設(shè);要拉動(dòng)產(chǎn)業(yè)向“兩頭”延伸

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由我公司承擔(dān)的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機(jī)計(jì)量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過預(yù)驗(yàn)收與交付，這標(biāo)志著我公司對(duì)于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個(gè)新的臺(tái)階。光刻機(jī)被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”，其中的計(jì)量框架是整個(gè)光刻機(jī)的工作基準(zhǔn)平臺(tái)，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，僅定位銷孔一百二十多個(gè)；螺紋孔四百多個(gè)；基礎(chǔ)框架是整個(gè)光刻機(jī)的基本支持體，尺寸達(dá)2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個(gè)。計(jì)量框架與基礎(chǔ)框架中對(duì)任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當(dāng)高，正常的制造周期為6個(gè)月。

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基本原理：干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè)，兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每?jī)纱螜z測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上，這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大，從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的，即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。

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研究目的：構(gòu)建一種具有橫向光學(xué)超分辨成像特性的新型共焦顯微成像特性，解決光束合理整形問題并突破衍射極限，實(shí)現(xiàn)一種具有橫向光學(xué)超分辨能力的共焦顯微成像技術(shù)?；驹恚簯?yīng)用二元光學(xué)器件，基于衍射原理將高斯激光光束整形為環(huán)形光束，通過設(shè)計(jì)環(huán)形光內(nèi)環(huán)半徑與外環(huán)半徑之比即環(huán)形光內(nèi)孔歸一化半徑ε，使將低頻光束頻移到高頻通帶，以減小共焦顯微鏡愛里斑的主瓣寬度，進(jìn)而達(dá)到提高其橫向分辨力和擴(kuò)展其量程范圍的目的。