浙江機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)廠家

HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高空間分辨率光學(xué)共焦顯微鏡。 產(chǎn)品系大型高端科學(xué)儀器，綜合了國內(nèi)外優(yōu)勢(shì)技術(shù)方案，技術(shù)密集度極高，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)各類樣品表面微結(jié)構(gòu)的高分辨率三維測(cè)量。使用環(huán)境，溫度要求：20℃±1℃;濕度要求：小于60%RH;隔振要求：儀器應(yīng)放在隔振基礎(chǔ)上，周圍無劇烈振動(dòng)和沖擊;電磁場要求：使用現(xiàn)場周圍無強(qiáng)電磁干擾。

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該卡盤精度高、性能穩(wěn)定可靠、操作方便，在航空發(fā)動(dòng)機(jī)制造、裝調(diào)檢測(cè)和維修領(lǐng)域的應(yīng)用中得到普遍認(rèn)可。該液壓卡盤傳遞力可在<8MPa內(nèi)進(jìn)行調(diào)整，對(duì)工件的重復(fù)裝卡精度可達(dá)2~3μm;卡口尺寸按照用戶要求設(shè)計(jì)制造。轉(zhuǎn)接盤航空發(fā)動(dòng)機(jī)裝配專用轉(zhuǎn)接盤裝置，是根據(jù)發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)子部件的結(jié)構(gòu)尺寸和裝配工藝而專門設(shè)計(jì)制造的，使用中將其安裝在超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)上，并將相匹配的裝配件通過止口固定其上，即可進(jìn)行裝配、檢測(cè)(如圖所示)。

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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于高精度機(jī)械、光學(xué)零部件等幾何參量和運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)及分系統(tǒng)與整機(jī)裝配測(cè)試等?！疽?guī)格與工作特性】臺(tái)面直徑范圍為中200mm一中600mm，設(shè)計(jì)有T型槽或固定孔的臺(tái)面形式，特殊需要可單獨(dú)定做;臺(tái)體承重從100kg到600kgo【結(jié)構(gòu)與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計(jì)量/~測(cè)量轉(zhuǎn)臺(tái)采用多項(xiàng)發(fā)明專利技術(shù)，進(jìn)行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤滑與支承參數(shù)設(shè)計(jì)，使轉(zhuǎn)臺(tái)兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺(tái)工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運(yùn)動(dòng)和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動(dòng)、嘯叫、噪聲及高頻微振等。

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基本原理：在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎(chǔ)上，將惠普爾理論與壓力對(duì)數(shù)分布假設(shè)相結(jié)合，對(duì)傳統(tǒng)氣體潤滑理論進(jìn)行修正和完善。建立基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(CTGB)的歸一化解析模型，在以剛度為目標(biāo)函數(shù)的前提下，對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行全局優(yōu)化，從而得到基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)參數(shù)?？茖W(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：對(duì)超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)中動(dòng)靜壓之間的耦合規(guī)律進(jìn)行建模。解析表述了動(dòng)靜壓之間的壓力耦合、結(jié)構(gòu)耦合以及壓力與結(jié)構(gòu)之間的交叉耦合。該技術(shù)大幅度提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的剛度、承載能力和抗擾動(dòng)能力，提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的綜合性能。實(shí)驗(yàn)表明：與傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(STGB)相比，承載能力提高4倍以上，剛度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲線對(duì)比見Fig.1-3。

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科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：建立起一種反映傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等影響因素和作用規(guī)律的子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，依據(jù)該測(cè)量模型，可建立起一種對(duì)上述影響因素有較強(qiáng)抑制能力的測(cè)量儀器，進(jìn)而解決凸凹深度非球面測(cè)量問題。研究目的：研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，解決傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)承載能力小、剛度低、抗擾動(dòng)能力差等問題，以期進(jìn)一步提高氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的回轉(zhuǎn)精度，提高抗擾動(dòng)能力。