西藏超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)廠(chǎng)家

超精密氣浮直線(xiàn)基準(zhǔn)圓柱度和直線(xiàn)度的測(cè)量，不僅要求儀器主軸的回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)精度高，直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)的精度要求也非常高。經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，提供了極高的直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了精心設(shè)計(jì)，保障了儀器整體具有非常高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質(zhì)，經(jīng)過(guò)億萬(wàn)年老化沉積，花崗巖材質(zhì)質(zhì)地均勻，強(qiáng)度高，應(yīng)力變形小，對(duì)溫度敏感性小。經(jīng)過(guò)精加工保證各零、部件的機(jī)械位置，基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。

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因此，高端通用試驗(yàn)儀器設(shè)備。將集中力量，重點(diǎn)突破一批我國(guó)需求量大、嚴(yán)重依賴(lài)進(jìn)口、價(jià)格昂貴的試驗(yàn)儀器設(shè)備，攻克若干試驗(yàn)儀器設(shè)備核心技術(shù)和關(guān)鍵部件，帶動(dòng)重要領(lǐng)域試驗(yàn)儀器設(shè)備整體水平提升，打破國(guó)外壟斷。第二，前沿重大試驗(yàn)儀器設(shè)備。將依據(jù)我國(guó)在世界新一輪科技革命中的戰(zhàn)略部署，研發(fā)若干具有國(guó)際領(lǐng)先水平的重大試驗(yàn)儀器設(shè)備，有效支撐我國(guó)開(kāi)展世界一流科學(xué)研究、有特色科學(xué)研究，帶動(dòng)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

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大深徑比測(cè)量與高精度的統(tǒng)一突破了微深孔徑測(cè)量技術(shù),無(wú)論對(duì)單- -微結(jié)構(gòu)還是宏觀(guān)器件的微結(jié)構(gòu)，均可實(shí)現(xiàn)超精密級(jí)的測(cè)量。自動(dòng)測(cè)量與數(shù)據(jù)分析軟件為客戶(hù)量身定制的專(zhuān)業(yè)測(cè)量軟件,可以實(shí)現(xiàn)工件的自動(dòng)測(cè)量與數(shù)據(jù)分析,大幅提升測(cè)量效率。本土化產(chǎn)品快速供應(yīng)相比國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品具有更優(yōu)異的性能,核心部件全部國(guó)產(chǎn)化，60-80個(gè)工作日即可供貨,在最短的供貨時(shí)間內(nèi),提供最優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。專(zhuān)家級(jí)成套解決方案超精密級(jí)測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度常被工作環(huán)境、對(duì)象等吞沒(méi)。依托本公司超精密儀器與裝備工程專(zhuān)家團(tuán)隊(duì),可提供超精密測(cè)量成套解決方案。

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磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動(dòng)態(tài)特性好等特點(diǎn)，但發(fā)熱是其致命的弱點(diǎn)，水靜壓軸承的研制正是針對(duì)這一問(wèn)題進(jìn)行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點(diǎn)是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運(yùn)轉(zhuǎn)，而且沒(méi)有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機(jī)床驅(qū)動(dòng)采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點(diǎn)，限制了運(yùn)動(dòng)精度的進(jìn)一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機(jī)床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動(dòng)方式的零件加工工藝極其復(fù)雜，限制了其應(yīng)用。

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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于高精度機(jī)械、光學(xué)零部件等幾何參量和運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)及分系統(tǒng)與整機(jī)裝配測(cè)試等。【規(guī)格與工作特性】臺(tái)面直徑范圍為中200mm一中600mm，設(shè)計(jì)有T型槽或固定孔的臺(tái)面形式，特殊需要可單獨(dú)定做;臺(tái)體承重從100kg到600kgo【結(jié)構(gòu)與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計(jì)量/~測(cè)量轉(zhuǎn)臺(tái)采用多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)，進(jìn)行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤(rùn)滑與支承參數(shù)設(shè)計(jì)，使轉(zhuǎn)臺(tái)兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺(tái)工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運(yùn)動(dòng)和定位狀態(tài)下均無(wú)氣體紊流振動(dòng)、嘯叫、噪聲及高頻微振等。