鄭州機械轉(zhuǎn)臺公司

HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統(tǒng)與整機裝配測試等?！疽?guī)格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm，設(shè)計有T型槽或固定孔的臺面形式，特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo【結(jié)構(gòu)與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉(zhuǎn)臺采用多項發(fā)明專利技術(shù)，進行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計和氣體潤滑與支承參數(shù)設(shè)計，使轉(zhuǎn)臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。

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由于SMEE的任務(wù)要求緊張，我公司僅用了三個月的時間完成了制造任務(wù)。2017年2月初，SMEE的質(zhì)量控制人員、設(shè)計人員、工藝人員在我公司進行了驗收測試，歷經(jīng)5天的時間完成了整個測試。產(chǎn)品經(jīng)過清潔、包裝等工作，于2017年2月15日由專車運往上海。新春伊始北京大學教授、中國科學院程和平院士一行在完成了對哈工大的訪問之后,于2017年2月15日,在譚久彬的陪同下到我公司參觀考察。程和平院士一行聽取了譚久彬教授關(guān)于公司基礎(chǔ)能力、研發(fā)能力、生產(chǎn)能力、典型產(chǎn)品等情況的介紹，考察了極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項、國家重大科學儀器研發(fā)專項等的研制情況。

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磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動態(tài)特性好等特點，但發(fā)熱是其致命的弱點，水靜壓軸承的研制正是針對這一問題進行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運轉(zhuǎn)，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機床驅(qū)動采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點，限制了運動精度的進一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動方式的零件加工工藝極其復雜，限制了其應(yīng)用。

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在保證焦斑質(zhì)量的同時，可獲得大的曝光區(qū)域;引入光強宏微雙重調(diào)制裝置，提高了曝光光強的調(diào)制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調(diào)制器依據(jù)像素部對寫入激光分束，解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術(shù)特別適用于微陣列和微結(jié)構(gòu)光學器件制作，具有大范圍、高精度激光寫入的優(yōu)點。研究目的：研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術(shù)，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。

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該卡盤精度高、性能穩(wěn)定可靠、操作方便，在航空發(fā)動機制造、裝調(diào)檢測和維修領(lǐng)域的應(yīng)用中得到普遍認可。該液壓卡盤傳遞力可在<8MPa內(nèi)進行調(diào)整，對工件的重復裝卡精度可達2~3μm;卡口尺寸按照用戶要求設(shè)計制造。轉(zhuǎn)接盤航空發(fā)動機裝配專用轉(zhuǎn)接盤裝置，是根據(jù)發(fā)動機轉(zhuǎn)子部件的結(jié)構(gòu)尺寸和裝配工藝而專門設(shè)計制造的，使用中將其安裝在超精密氣浮轉(zhuǎn)臺上，并將相匹配的裝配件通過止口固定其上，即可進行裝配、檢測(如圖所示)。