上海超精密氣浮轉(zhuǎn)臺公司

其原理如圖所示。寫入激光經(jīng)過調(diào)制穩(wěn)光、準直擴束后，平行入射到DMD上，被其調(diào)制編碼、分束成獨立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后，被微光學陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺上，從而實現(xiàn)寫入曝光;在寫入光被調(diào)制的同時，基底平臺作光柵或回轉(zhuǎn)掃描，實現(xiàn)微陣列和微結(jié)構(gòu)光學器件的曝光制作?？茖W意義及應用價值：利用微光學陣列替換傳統(tǒng)的直寫物鏡，實現(xiàn)多光路并行同步寫入，有效提高了寫入效率;同時由于微光學透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑，可極大地提高寫入分辨力。

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在保證焦斑質(zhì)量的同時，可獲得大的曝光區(qū)域;引入光強宏微雙重調(diào)制裝置，提高了曝光光強的調(diào)制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調(diào)制器依據(jù)像素部對寫入激光分束，解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術(shù)特別適用于微陣列和微結(jié)構(gòu)光學器件制作，具有大范圍、高精度激光寫入的優(yōu)點。研究目的：研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術(shù)，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。

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超精密氣浮直線基準圓柱度和直線度的測量，不僅要求儀器主軸的回轉(zhuǎn)基準精度高，直線運動基準的精度要求也非常高。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計的圓柱度儀導軌結(jié)構(gòu)，提供了極高的直線運動精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整體結(jié)構(gòu)上進行了精心設(shè)計，保障了儀器整體具有非常高的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。穩(wěn)定的花崗巖基座圓柱度儀的基座采用天然花崗巖材質(zhì)，經(jīng)過億萬年老化沉積，花崗巖材質(zhì)質(zhì)地均勻，強度高，應力變形小，對溫度敏感性小。經(jīng)過精加工保證各零、部件的機械位置，基座具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和剛度。

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核心技術(shù)指標通過國家量儀產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心檢測主要核心技術(shù)指標達到國際同類產(chǎn)品領(lǐng)先水平我公司該產(chǎn)品目前已有18種適應不同應用場合的的型號產(chǎn)品; 在航天、國防和高端超精密裝備制造領(lǐng)域有廣泛應用，可解決我國高端超精密裝備研制、生產(chǎn)和使用中的隔微振技術(shù)難題。隨著我國的裝備制造業(yè)向中高端發(fā)展，HUE-G2631將在我國發(fā)展該類高端超精密裝備發(fā)揮重大作用。航天發(fā)動機、航空發(fā)動機、汽車發(fā)動機陣列式氣膜微孔、燃料微噴嘴氣浮設(shè)備陣列式微孔氣足、陣列式節(jié)流微孔光東引導微口徑約束、針孔光闌m科學實驗研究校準溯源、工藝改進

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科學意義及應用價值：融合了衍射光學技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。