山西超精密氣浮轉(zhuǎn)臺公司

圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進行測量，并能進行相關(guān)分析?？蓮V泛用于航空航天、船舶、國防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領(lǐng)域?；鶞市蛨A柱度測量儀可用于計量部門，開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色：超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準主軸精度是圓柱度儀回轉(zhuǎn)基準的重要指標。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術(shù)，經(jīng)特殊加工工藝研制，因此保證了儀器主軸具有超精密級的軸向與徑向回轉(zhuǎn)精度(0.015~0.05μm)、角回轉(zhuǎn)精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能，保障了儀器具有高可靠性和長久的使用壽命。

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特征與優(yōu)勢高精度回轉(zhuǎn)基準本儀器通過氣浮轉(zhuǎn)臺提供回轉(zhuǎn)基準，氣浮軸材料選用優(yōu)質(zhì)合金鋼經(jīng)滲氮處理，既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防銹功能.調(diào)心調(diào)傾工作臺調(diào)心調(diào)傾工作臺安裝到氣浮轉(zhuǎn)臺的臺面上，具有調(diào)心和調(diào)傾功能，具有剛度高、精度高、結(jié)構(gòu)堅固耐用的特點.雙橫臂自動升降立柱由橫臂及立柱機構(gòu)組成主要功能是固定傳感器的空間位置.立柱可自動或手動升降，水平運動可手動進行快速大范圍調(diào)整同時可以微調(diào).通過傳感器夾持機構(gòu)可將傳感器在測量平面一定范圍內(nèi)任意調(diào)整姿態(tài)，并可以測量內(nèi)孔.

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基本原理：干涉儀對深度非球面元件進行多次局部檢測，兩次測量區(qū)域之間有一定的重疊。將每兩次檢測重疊部分的相位值經(jīng)過擬合統(tǒng)一到一個曲面上，這樣可不斷地將測量范圍擴大，從而獲得整個待測元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測量得到的波前相位值是一致的，即兩次測量相位數(shù)據(jù)位于同一個曲面上。而在實際測量過程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測量模型，實現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測量與評定。

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其原理如圖所示。寫入激光經(jīng)過調(diào)制穩(wěn)光、準直擴束后，平行入射到DMD上，被其調(diào)制編碼、分束成獨立的光陣列;再經(jīng)4?空間濾波系統(tǒng)濾波后，被微光學(xué)陣列中相匹配的子鏡聚焦到涂有光刻膠的基底平臺上，從而實現(xiàn)寫入曝光;在寫入光被調(diào)制的同時，基底平臺作光柵或回轉(zhuǎn)掃描，實現(xiàn)微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件的曝光制作?？茖W(xué)意義及應(yīng)用價值：利用微光學(xué)陣列替換傳統(tǒng)的直寫物鏡，實現(xiàn)多光路并行同步寫入，有效提高了寫入效率;同時由于微光學(xué)透鏡與傳統(tǒng)物鏡相比，像差小、制作容易、易獲得大數(shù)值孔徑，可極大地提高寫入分辨力。

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HUE-T231大型高速回轉(zhuǎn)裝備超精密裝配測量儀(單立柱雙通道)由哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)。主要用于航空發(fā)動機、艦船發(fā)動機和電站燃機機匣、轉(zhuǎn)子、葉盤組件，盤、軸類零件和回轉(zhuǎn)體零部件的跳動、極值位置、同心度、圓度、平面度、垂直度和同軸度的檢測，并對檢測數(shù)據(jù)進行記錄、存儲、并建立數(shù)據(jù)庫，通過計算機對誤差數(shù)據(jù)進行評價和分析，***終得出正確的測量結(jié)果并出具測試報告。