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在保證焦斑質量的同時，可獲得大的曝光區(qū)域;引入光強宏微雙重調制裝置，提高了曝光光強的調制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問題;通過空間光調制器依據(jù)像素部對寫入激光分束，解決了多光路并行同步直寫光束的控制問題。該技術特別適用于微陣列和微結構光學器件制作，具有大范圍、高精度激光寫入的優(yōu)點。研究目的：研究一種基于多個子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測量技術，解決干涉儀測量范圍受限和分辨率受限問題，實現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測量。

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專家稱，精密檢測儀器本身是整個行業(yè)的糧草，而軟件則又是儀器的核心。所以我們要想讓整個的精密檢測儀器行業(yè)的發(fā)展取得長足的進步，那么我們就要保證精密測量軟件的不斷更新和發(fā)展，為儀器的檢測提供技術的支持。隨著國際市場需求的不斷擴大，與人們生活息息相關的試驗機行業(yè)也得到了迅猛的發(fā)展，但由于技術及創(chuàng)新等方面的原因，國內(nèi)試驗機行業(yè)與國外仍有巨大的差距，關鍵核心技術匱乏，低水平重復，產(chǎn)品的穩(wěn)定性及可靠性得不到根本的解決，在高端精密儀器上仍嚴重依賴進口，大量進口對產(chǎn)業(yè)發(fā)展造成不利影響。

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HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學、哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司聯(lián)合開發(fā)的新一代高空間分辨率光學共焦顯微鏡。 產(chǎn)品系大型高端科學儀器，綜合了國內(nèi)外優(yōu)勢技術方案，技術密集度極高，能夠實現(xiàn)對各類樣品表面微結構的高分辨率三維測量。使用環(huán)境，溫度要求：20℃±1℃;濕度要求：小于60%RH;隔振要求：儀器應放在隔振基礎上，周圍無劇烈振動和沖擊;電磁場要求：使用現(xiàn)場周圍無強電磁干擾。

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磁懸浮主軸技術，永磁、電磁和氣浮結合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動態(tài)特性好等特點，但發(fā)熱是其致命的弱點，水靜壓軸承的研制正是針對這一問題進行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運轉，而且沒有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機床驅動采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點，限制了運動精度的進一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機床上得到了應用，但是采用這種傳動方式的零件加工工藝極其復雜，限制了其應用。

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為做好國家首批國家重大科學儀器開發(fā)專項項目驗收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財務司副司長吳學梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長李力先后來我公司考察，了解我公司的國家重大科學儀器設備開發(fā)專項項目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關領導，我公司董事長等參加現(xiàn)場考察。吳學梯在考察時強調了國家實施創(chuàng)新驅動發(fā)展戰(zhàn)略的重要意義和迫切性，詳細了解了譚久彬教授所承擔的“超高分辨率反射式立體層析共焦顯微鏡研制”項目在核心技術突破、工程樣機和產(chǎn)品樣機研制、測試驗證、第三方異地測試的準備、產(chǎn)業(yè)前景和產(chǎn)業(yè)化途徑、知識產(chǎn)權保護、標準制定以及經(jīng)費使用等方面的進展情況。

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實施國家新一輪老工業(yè)基地調整改造，把調整所有制結構作為重點支持黑龍江改革;支持黑龍江資源型城市加快發(fā)展替代產(chǎn)業(yè)等。哈爾濱電氣集團、中國重型機械集團公司等單位有關負責人，分別就各企業(yè)發(fā)展情況以及需要國家層面幫助協(xié)調解決的問題進行了發(fā)言。在我省期間，調研組一行先后到哈爾濱超精密工程技術公司、哈電集團、哈爾濱飛機工業(yè)集團有限責任公司、哈爾濱東安動力公司、中船重工703所中小型燃機產(chǎn)業(yè)園、黑龍江省工業(yè)技術研究院、科技創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)共享服務平臺等地進行了實地考察調研。