四川超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)定制

HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要用于高精度測(cè)量?jī)x器、光學(xué)檢測(cè)儀器、精密/超精密光機(jī)電一體化裝備、精密/超精密機(jī)床等先進(jìn)裝備制造領(lǐng)域，是精密/超精密儀器與制造裝備中保證高精度直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向和定位的關(guān)鍵部件。HHUE--D1331氣浮導(dǎo)軌已成系列，其有效行程從50mm至3000mm截面尺寸主要從50mm×50mm至250mm×350mm(見(jiàn)表2);該系列氣浮導(dǎo)軌具有優(yōu)異的直線運(yùn)動(dòng)精度和良好的剛度，直線運(yùn)動(dòng)誤差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可單獨(dú)設(shè)計(jì)。

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陸昊省長(zhǎng)和楊雄市長(zhǎng)等領(lǐng)導(dǎo)考察了一批大型超精密儀器產(chǎn)品的中試與生產(chǎn)情況、市場(chǎng)化前景和與上海有關(guān)單位的合作情況。仔細(xì)觀看了一批產(chǎn)品樣機(jī)的演示，如國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)成果 “工業(yè)用共焦顯微鏡”、“隔振地基”“雙頻激光干涉儀”“生物醫(yī)學(xué)用共焦顯微鏡”、“大口徑非球面微結(jié)構(gòu)測(cè)量用共焦顯微鏡”產(chǎn)品;大型高端發(fā)動(dòng)機(jī)裝配測(cè)試系列產(chǎn)品 “兩截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”、“四截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”、“五截面大型超精密裝配/測(cè)量?jī)x”和“超大型同軸度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)裝置”;“4米直徑超精密一體化氣浮研拋/測(cè)量機(jī)”和“超大型精密儀器及系統(tǒng)氣浮隔微振裝置”等。

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當(dāng)然，對(duì)于精密檢測(cè)儀器這個(gè)國(guó)內(nèi)新興的行業(yè)來(lái)說(shuō)，也會(huì)有高潮和低谷的存在，因此，企業(yè)需要有一個(gè)發(fā)展的規(guī)劃，這樣才能帶領(lǐng)行業(yè)不斷的超越和發(fā)展，最終成為領(lǐng)域里的領(lǐng)頭羊。業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，我國(guó)精密檢測(cè)技術(shù)和儀器的現(xiàn)狀仍然不甚理想，主要原因在于此類研發(fā)企業(yè)在國(guó)內(nèi)是稀缺資源。隨著中國(guó)工業(yè)自動(dòng)化和產(chǎn)業(yè)升級(jí)的發(fā)展趨勢(shì)，定向研發(fā)的精密檢測(cè)儀器在工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域?qū)⒂泻艽蟮氖袌?chǎng)空間，與此同時(shí)，中國(guó)要成為工業(yè)強(qiáng)國(guó)，也必須重視研發(fā)與創(chuàng)新。

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為做好國(guó)家首批國(guó)家重大科學(xué)儀器開(kāi)發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目驗(yàn)收工作，6月26日至27日，科技部科研條件與財(cái)務(wù)司副司長(zhǎng)吳學(xué)梯、工業(yè)和信息化部科技司副司長(zhǎng)李力先后來(lái)我公司考察，了解我公司的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目。工業(yè)和信息化部、省工信委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，我公司董事長(zhǎng)等參加現(xiàn)場(chǎng)考察。吳學(xué)梯在考察時(shí)強(qiáng)調(diào)了國(guó)家實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略的重要意義和迫切性，詳細(xì)了解了譚久彬教授所承擔(dān)的“超高分辨率反射式立體層析共焦顯微鏡研制”項(xiàng)目在核心技術(shù)突破、工程樣機(jī)和產(chǎn)品樣機(jī)研制、測(cè)試驗(yàn)證、第三方異地測(cè)試的準(zhǔn)備、產(chǎn)業(yè)前景和產(chǎn)業(yè)化途徑、知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)、標(biāo)準(zhǔn)制定以及經(jīng)費(fèi)使用等方面的進(jìn)展情況。

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基本原理：干涉儀對(duì)深度非球面元件進(jìn)行多次局部檢測(cè)，兩次測(cè)量區(qū)域之間有一定的重疊。將每?jī)纱螜z測(cè)重疊部分的相位值經(jīng)過(guò)擬合統(tǒng)一到一個(gè)曲面上，這樣可不斷地將測(cè)量范圍擴(kuò)大，從而獲得整個(gè)待測(cè)元件表面輪廓。拼接的理論依據(jù)是在重疊區(qū)域內(nèi)，兩次測(cè)量得到的波前相位值是一致的，即兩次測(cè)量相位數(shù)據(jù)位于同一個(gè)曲面上。而在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中，則需要傾斜、位移、離焦和振動(dòng)干擾等誤差影響，并依據(jù)一種高精度的多子孔徑干涉拼接測(cè)量模型，實(shí)現(xiàn)全域凸凹深度非球面形狀的測(cè)量與評(píng)定。