昆明機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)定制

在保證焦斑質(zhì)量的同時(shí)，可獲得大的曝光區(qū)域;引入光強(qiáng)宏微雙重調(diào)制裝置，提高了曝光光強(qiáng)的調(diào)制分辨力，從而解決控制輪廓精度的問(wèn)題;通過(guò)空間光調(diào)制器依據(jù)像素部對(duì)寫(xiě)入激光分束，解決了多光路并行同步直寫(xiě)光束的控制問(wèn)題。該技術(shù)特別適用于微陣列和微結(jié)構(gòu)光學(xué)器件制作，具有大范圍、高精度激光寫(xiě)入的優(yōu)點(diǎn)。研究目的：研究一種基于多個(gè)子孔徑干涉拼接的全域非球面超精密測(cè)量技術(shù)，解決干涉儀測(cè)量范圍受限和分辨率受限問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)局部變化較大的凸凹面深度非球面面型的高精度測(cè)量。

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省委常委、副省長(zhǎng)郝會(huì)龍出席會(huì)議并匯報(bào)，會(huì)議由省委常委、統(tǒng)戰(zhàn)部長(zhǎng)趙敏主持。萬(wàn)鋼對(duì)黑龍江省省委、省政府為裝備制造業(yè)技術(shù)創(chuàng)新和結(jié)構(gòu)調(diào)整給與的高度重視和有力支持，以及黑龍江省在裝備制造業(yè)發(fā)展中取得的成績(jī)給與充分肯定。他說(shuō)，為推動(dòng)經(jīng)濟(jì)社會(huì)穩(wěn)步發(fā)展，每年各民主黨派中央都要開(kāi)展年度重點(diǎn)調(diào)研。今年，致公黨中央圍繞全面深化改革，將“創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)促進(jìn)裝備制造業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整”作為年度重點(diǎn)調(diào)研課題，原因在于裝備制造業(yè)是實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)方式轉(zhuǎn)變和推進(jìn)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造升級(jí)的根本手段，也是科技成果轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力的橋梁和通道。

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磁懸浮主軸技術(shù)，永磁、電磁和氣浮結(jié)合的控制方案也一直在研究中。多孔材料的氣浮軸承可以提高氣浮軸承的剛度。液體靜壓軸承具有剛度高、動(dòng)態(tài)特性好等特點(diǎn)，但發(fā)熱是其致命的弱點(diǎn)，水靜壓軸承的研制正是針對(duì)這一問(wèn)題進(jìn)行的。與油靜壓軸承相比，這種軸承的優(yōu)點(diǎn)是軸承發(fā)熱較小，適合于高速運(yùn)轉(zhuǎn)，而且沒(méi)有污染，特別適合硅片加工等行業(yè)。精密滾珠絲杠是超精密機(jī)床驅(qū)動(dòng)采用的常規(guī)方式，但是這種方式存在許多缺點(diǎn)，限制了運(yùn)動(dòng)精度的進(jìn)一步提高。為此，氣浮絲杠和液體靜壓絲杠在一些日本研制的超精密機(jī)床上得到了應(yīng)用，但是采用這種傳動(dòng)方式的零件加工工藝極其復(fù)雜，限制了其應(yīng)用。

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HUE--E1231是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開(kāi)發(fā)的新一代高精度二維轉(zhuǎn)臺(tái)。10項(xiàng)中國(guó)發(fā)明專利技術(shù)授權(quán)國(guó)家科技重大專項(xiàng)推介產(chǎn)品在北京空間機(jī)電研究所(508所)、沈陽(yáng)航空發(fā)動(dòng)機(jī)研究所等單位應(yīng)用HUE--E1231型高精度二維轉(zhuǎn)臺(tái)核心技術(shù)指標(biāo)均通過(guò)中國(guó)國(guó)家量?jī)x產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心檢測(cè)。兩軸空間垂直度優(yōu)于5秒;角回轉(zhuǎn)誤差優(yōu)于1秒;角定位誤差優(yōu)于1秒;HUE--E1231特征與優(yōu)勢(shì)高精度和大承載 采用靜壓氣浮支撐技術(shù)作為回轉(zhuǎn)軸系，轉(zhuǎn)臺(tái)軸系回轉(zhuǎn)誤差小，承載可高達(dá)數(shù)十噸。