寧夏機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)定制

用途HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于大型和超大型精密機(jī)械、光學(xué)精密零部件的幾何參量或部件及整機(jī)運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)、以及大型精密裝備分系統(tǒng)和整機(jī)裝配測(cè)試等。規(guī)格與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)面直徑范圍為①700mm～①3000，mm，設(shè)計(jì)有T型槽或固定子L的臺(tái)面形式，特殊需要可單獨(dú)定做；臺(tái)體承重從800kg到20000kg，（技術(shù)指標(biāo)見附表）。結(jié)構(gòu)與工作特性HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)配置精密氣浮軸系，兼有高回轉(zhuǎn)精度、高剛度和高承載能力等特點(diǎn)。轉(zhuǎn)臺(tái)高精度旋轉(zhuǎn)時(shí)無噪聲、無振動(dòng)、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。

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由我公司承擔(dān)的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機(jī)計(jì)量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過預(yù)驗(yàn)收與交付，這標(biāo)志著我公司對(duì)于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個(gè)新的臺(tái)階。光刻機(jī)被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”，其中的計(jì)量框架是整個(gè)光刻機(jī)的工作基準(zhǔn)平臺(tái)，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，僅定位銷孔一百二十多個(gè)；螺紋孔四百多個(gè)；基礎(chǔ)框架是整個(gè)光刻機(jī)的基本支持體，尺寸達(dá)2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個(gè)。計(jì)量框架與基礎(chǔ)框架中對(duì)任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當(dāng)高，正常的制造周期為6個(gè)月。

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適用于實(shí)驗(yàn)室和車間環(huán)境;電壓：220V或380V交流電壓，50Hz;氣源：0.4MPa的過濾干燥空氣;溫度：20℃±5℃;濕度：<60%;其他：避免酸堿等腐蝕性氣體浸蝕HUE--D1331系列超精密氣浮導(dǎo)軌主要采用花崗巖、金屬或陶瓷制作，配有精密導(dǎo)軌基體、氣浮套和高潔凈空氣凈化器。采用多項(xiàng)發(fā)明專利技術(shù)進(jìn)行高精度、高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤(rùn)滑及支撐參數(shù)設(shè)計(jì)，使導(dǎo)軌兼有高精度、高剛度和高承載的特點(diǎn);并使導(dǎo)軌工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運(yùn)動(dòng)和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動(dòng)、嘯叫、噪聲及高頻微振等?？刂铺匦苑譃橛序?qū)動(dòng)和無驅(qū)動(dòng)兩種，按其需要進(jìn)行驅(qū)動(dòng)配置。

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015年6月8日下午15:40至16:20，上海市市長(zhǎng)楊雄一行在黑龍江省省長(zhǎng)陸昊、哈爾濱市委書記陳海波，哈爾濱工業(yè)大學(xué)校長(zhǎng)周玉等領(lǐng)導(dǎo)的陪同下來到哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司進(jìn)行考察。該公司是哈爾濱工業(yè)大學(xué)超精密光電儀器工程研究所在哈爾濱松北區(qū)建成的高端超精密儀器產(chǎn)業(yè)化基地。在考察過程中，譚久彬教授向陸昊省長(zhǎng)和楊雄市長(zhǎng)等領(lǐng)導(dǎo)詳細(xì)介紹了研究所與該產(chǎn)業(yè)化基地構(gòu)成的產(chǎn)學(xué)研一體化運(yùn)作模式，研究所完成的一批完全自主創(chuàng)新的大型高端超精密儀器研發(fā)成果在產(chǎn)業(yè)化方面取得的重要進(jìn)展。

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大深徑比測(cè)量與高精度的統(tǒng)一突破了微深孔徑測(cè)量技術(shù),無論對(duì)單- -微結(jié)構(gòu)還是宏觀器件的微結(jié)構(gòu)，均可實(shí)現(xiàn)超精密級(jí)的測(cè)量。自動(dòng)測(cè)量與數(shù)據(jù)分析軟件為客戶量身定制的專業(yè)測(cè)量軟件,可以實(shí)現(xiàn)工件的自動(dòng)測(cè)量與數(shù)據(jù)分析,大幅提升測(cè)量效率。本土化產(chǎn)品快速供應(yīng)相比國(guó)外同類產(chǎn)品具有更優(yōu)異的性能,核心部件全部國(guó)產(chǎn)化，60-80個(gè)工作日即可供貨,在最短的供貨時(shí)間內(nèi),提供最優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。專家級(jí)成套解決方案超精密級(jí)測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度常被工作環(huán)境、對(duì)象等吞沒。依托本公司超精密儀器與裝備工程專家團(tuán)隊(duì),可提供超精密測(cè)量成套解決方案。

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核心技術(shù)指標(biāo)通過國(guó)家量?jī)x產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心檢測(cè)主要核心技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品領(lǐng)先水平我公司該產(chǎn)品目前已有18種適應(yīng)不同應(yīng)用場(chǎng)合的的型號(hào)產(chǎn)品; 在航天、國(guó)防和高端超精密裝備制造領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，可解決我國(guó)高端超精密裝備研制、生產(chǎn)和使用中的隔微振技術(shù)難題。隨著我國(guó)的裝備制造業(yè)向中高端發(fā)展，HUE-G2631將在我國(guó)發(fā)展該類高端超精密裝備發(fā)揮重大作用。航天發(fā)動(dòng)機(jī)、航空發(fā)動(dòng)機(jī)、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)陣列式氣膜微孔、燃料微噴嘴氣浮設(shè)備陣列式微孔氣足、陣列式節(jié)流微孔光東引導(dǎo)微口徑約束、針孔光闌m科學(xué)實(shí)驗(yàn)研究校準(zhǔn)溯源、工藝改進(jìn)