合肥機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)定制

圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進(jìn)行測量，并能進(jìn)行相關(guān)分析?？蓮V泛用于航空航天、船舶、國防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領(lǐng)域。基準(zhǔn)型圓柱度測量儀可用于計(jì)量部門，開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色：超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)主軸精度是圓柱度儀回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的重要指標(biāo)。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術(shù)，經(jīng)特殊加工工藝研制，因此保證了儀器主軸具有超精密級(jí)的軸向與徑向回轉(zhuǎn)精度(0.015~0.05μm)、角回轉(zhuǎn)精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能，保障了儀器具有高可靠性和長久的使用壽命。

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科學(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：融合了衍射光學(xué)技術(shù)和超分辨光瞳濾波技術(shù)的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達(dá)到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術(shù)的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強(qiáng)度響應(yīng)中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時(shí)環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術(shù)涉及光學(xué)掃描顯微成像及微觀掃描測量技術(shù)領(lǐng)域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺(tái)階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。

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基本原理：在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎(chǔ)上，將惠普爾理論與壓力對數(shù)分布假設(shè)相結(jié)合，對傳統(tǒng)氣體潤滑理論進(jìn)行修正和完善。建立基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(CTGB)的歸一化解析模型，在以剛度為目標(biāo)函數(shù)的前提下，對結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行全局優(yōu)化，從而得到基于動(dòng)靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)參數(shù)?？茖W(xué)意義及應(yīng)用價(jià)值：對超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)中動(dòng)靜壓之間的耦合規(guī)律進(jìn)行建模。解析表述了動(dòng)靜壓之間的壓力耦合、結(jié)構(gòu)耦合以及壓力與結(jié)構(gòu)之間的交叉耦合。該技術(shù)大幅度提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的剛度、承載能力和抗擾動(dòng)能力，提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的綜合性能。實(shí)驗(yàn)表明：與傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)(STGB)相比，承載能力提高4倍以上，剛度提高6倍以上，流量略有增大，性能曲線對比見Fig.1-3。

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圓柱度測量儀是我公司生產(chǎn)的專業(yè)化、系列化產(chǎn)品之一，至今已有近三十余年的歷史。產(chǎn)品包括：大型圓柱度測量儀、精密/超精密型圓柱度測量儀、基/標(biāo)準(zhǔn)型圓柱度測量儀，已形成系列化產(chǎn)品，解決了多項(xiàng)國家重大裝備造項(xiàng)目中核心器部件的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)測量難題;并在我國航空航天、國防和精密裝備造領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。與其直接相關(guān)的技術(shù)已獲100余項(xiàng)發(fā)明專利。此外，我公司可為客戶定制一些特殊需求的專用精密/超精密光機(jī)電一體化測量儀器、測試設(shè)備和試驗(yàn)裝備等。

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HUE-T231大型高速回轉(zhuǎn)裝備超精密裝配測量儀(單立柱雙通道)由哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開發(fā)。主要用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)、艦船發(fā)動(dòng)機(jī)和電站燃機(jī)機(jī)匣、轉(zhuǎn)子、葉盤組件，盤、軸類零件和回轉(zhuǎn)體零部件的跳動(dòng)、極值位置、同心度、圓度、平面度、垂直度和同軸度的檢測，并對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、存儲(chǔ)、并建立數(shù)據(jù)庫，通過計(jì)算機(jī)對誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行評價(jià)和分析，***終得出正確的測量結(jié)果并出具測試報(bào)告。