鄭州超精密氣浮轉(zhuǎn)臺公司

科學意義及應用價值：建立起一種反映傾斜、位移、離焦和振動干擾等影響因素和作用規(guī)律的子孔徑干涉拼接測量模型，依據(jù)該測量模型，可建立起一種對上述影響因素有較強抑制能力的測量儀器，進而解決凸凹深度非球面測量問題。研究目的：研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉(zhuǎn)基準，解決傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準承載能力小、剛度低、抗擾動能力差等問題，以期進一步提高氣浮回轉(zhuǎn)基準的回轉(zhuǎn)精度，提高抗擾動能力。

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專家稱，精密檢測儀器本身是整個行業(yè)的糧草，而軟件則又是儀器的核心。所以我們要想讓整個的精密檢測儀器行業(yè)的發(fā)展取得長足的進步，那么我們就要保證精密測量軟件的不斷更新和發(fā)展，為儀器的檢測提供技術的支持。隨著國際市場需求的不斷擴大，與人們生活息息相關的試驗機行業(yè)也得到了迅猛的發(fā)展，但由于技術及創(chuàng)新等方面的原因，國內(nèi)試驗機行業(yè)與國外仍有巨大的差距，關鍵核心技術匱乏，低水平重復，產(chǎn)品的穩(wěn)定性及可靠性得不到根本的解決，在高端精密儀器上仍嚴重依賴進口，大量進口對產(chǎn)業(yè)發(fā)展造成不利影響。

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超精密制造已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地，包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測量車間，2820㎡的精密/超精密加工車間，2110㎡的精密裝校車間，約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車間;配套超潔凈溫度/濕度控制機組，大型超精密氣浮隔微振設施，三坐標行吊車等配套設施。投資7000余萬元購置德國五軸聯(lián)動數(shù)控鏜銑加工中心、美國摩爾坐標磨床，光學曲線磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐標等大型精密/超精密加工與測量設備70余臺(套)，具備了設計、研發(fā)、中試和生產(chǎn)大型高端超精密儀器與裝備產(chǎn)品的能力。公司已通過GJB9001B-2009《質(zhì)量管理體系》認證，以顧客為關注焦點，與客戶廣交朋友，不斷持續(xù)改進，以顧客滿意為目標。

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科學意義及應用價值：融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結(jié)構(gòu)、微臺階、微構(gòu)槽、集成電路線寬等。

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015年6月8日下午15:40至16:20，上海市市長楊雄一行在黑龍江省省長陸昊、哈爾濱市委書記陳海波，哈爾濱工業(yè)大學校長周玉等領導的陪同下來到哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司進行考察。該公司是哈爾濱工業(yè)大學超精密光電儀器工程研究所在哈爾濱松北區(qū)建成的高端超精密儀器產(chǎn)業(yè)化基地。在考察過程中，譚久彬教授向陸昊省長和楊雄市長等領導詳細介紹了研究所與該產(chǎn)業(yè)化基地構(gòu)成的產(chǎn)學研一體化運作模式，研究所完成的一批完全自主創(chuàng)新的大型高端超精密儀器研發(fā)成果在產(chǎn)業(yè)化方面取得的重要進展。

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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統(tǒng)與整機裝配測試等?！疽?guī)格與工作特性】臺面直徑范圍為中200mm一中600mm，設計有T型槽或固定孔的臺面形式，特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kgo【結(jié)構(gòu)與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉(zhuǎn)臺采用多項發(fā)明專利技術，進行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設計和氣體潤滑與支承參數(shù)設計，使轉(zhuǎn)臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。