安徽超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)公司

由我公司承擔(dān)的上海微電子裝備有限公司(SMEE)的光刻機(jī)計(jì)量框架和基礎(chǔ)框架制造任務(wù)于2017年2月13日通過預(yù)驗(yàn)收與交付，這標(biāo)志著我公司對(duì)于精密復(fù)雜構(gòu)件的制造能力提升至一個(gè)新的臺(tái)階。光刻機(jī)被稱為“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”，其中的計(jì)量框架是整個(gè)光刻機(jī)的工作基準(zhǔn)平臺(tái)，尺寸龐大(2.2m′1.9m)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，僅定位銷孔一百二十多個(gè)；螺紋孔四百多個(gè)；基礎(chǔ)框架是整個(gè)光刻機(jī)的基本支持體，尺寸達(dá)2.75m′1.86m′1.37m，其螺紋孔有三百多個(gè)。計(jì)量框架與基礎(chǔ)框架中對(duì)任何加工部位的位置、形狀、尺寸、表面形貌等要求相當(dāng)高，正常的制造周期為6個(gè)月。

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圓柱度、直線度、垂直度、同軸度和同心度等幾何參量進(jìn)行測(cè)量，并能進(jìn)行相關(guān)分析?？蓮V泛用于航空航天、船舶、國(guó)防、汽車、軸承等各類精密裝備***造領(lǐng)域?；鶞?zhǔn)型圓柱度測(cè)量?jī)x可用于計(jì)量部門，開展圓柱度量值的傳遞與溯源工作儀器特色：超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)主軸精度是圓柱度儀回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)的重要指標(biāo)。經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)的圓柱度儀的空氣靜壓軸系采用本所專利技術(shù)，經(jīng)特殊加工工藝研制，因此保證了儀器主軸具有超精密級(jí)的軸向與徑向回轉(zhuǎn)精度(0.015~0.05μm)、角回轉(zhuǎn)精度(0.02~0.1″)和高承載與高剛度兼顧性能，保障了儀器具有高可靠性和長(zhǎng)久的使用壽命。

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HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于高精度機(jī)械、光學(xué)零部件等幾何參量和運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)及分系統(tǒng)與整機(jī)裝配測(cè)試等。【規(guī)格與工作特性】臺(tái)面直徑范圍為中200mm一中600mm，設(shè)計(jì)有T型槽或固定孔的臺(tái)面形式，特殊需要可單獨(dú)定做;臺(tái)體承重從100kg到600kgo【結(jié)構(gòu)與工作特性】HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計(jì)量/~測(cè)量轉(zhuǎn)臺(tái)采用多項(xiàng)發(fā)明專利技術(shù)，進(jìn)行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤(rùn)滑與支承參數(shù)設(shè)計(jì)，使轉(zhuǎn)臺(tái)兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺(tái)工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運(yùn)動(dòng)和定位狀態(tài)下均無(wú)氣體紊流振動(dòng)、嘯叫、噪聲及高頻微振等。

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超精密制造已建成22000m2的研發(fā)及生產(chǎn)基地，包括1920㎡的超潔凈超精密裝配與測(cè)量車間，2820㎡的精密/超精密加工車間，2110㎡的精密裝校車間，約2100㎡的光電系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)車間;配套超潔凈溫度/濕度控制機(jī)組，大型超精密氣浮隔微振設(shè)施，三坐標(biāo)行吊車等配套設(shè)施。投資7000余萬(wàn)元購(gòu)置德國(guó)五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控鏜銑加工中心、美國(guó)摩爾坐標(biāo)磨床，光學(xué)曲線磨床，精密平面磨床，立式加工中心，三坐標(biāo)等大型精密/超精密加工與測(cè)量設(shè)備70余臺(tái)(套)，具備了設(shè)計(jì)、研發(fā)、中試和生產(chǎn)大型高端超精密儀器與裝備產(chǎn)品的能力。公司已通過GJB9001B-2009《質(zhì)量管理體系》認(rèn)證，以顧客為關(guān)注焦點(diǎn)，與客戶廣交朋友，不斷持續(xù)改進(jìn)，以顧客滿意為目標(biāo)。

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專家稱，精密檢測(cè)儀器本身是整個(gè)行業(yè)的糧草，而軟件則又是儀器的核心。所以我們要想讓整個(gè)的精密檢測(cè)儀器行業(yè)的發(fā)展取得長(zhǎng)足的進(jìn)步，那么我們就要保證精密測(cè)量軟件的不斷更新和發(fā)展，為儀器的檢測(cè)提供技術(shù)的支持。隨著國(guó)際市場(chǎng)需求的不斷擴(kuò)大，與人們生活息息相關(guān)的試驗(yàn)機(jī)行業(yè)也得到了迅猛的發(fā)展，但由于技術(shù)及創(chuàng)新等方面的原因，國(guó)內(nèi)試驗(yàn)機(jī)行業(yè)與國(guó)外仍有巨大的差距，關(guān)鍵核心技術(shù)匱乏，低水平重復(fù)，產(chǎn)品的穩(wěn)定性及可靠性得不到根本的解決，在高端精密儀器上仍嚴(yán)重依賴進(jìn)口，大量進(jìn)口對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展造成不利影響。