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產(chǎn)品型號(hào):HUE-ZT1032
產(chǎn)品名稱:超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
徑向回轉(zhuǎn)精度:0.1μm
角回轉(zhuǎn)精度:0.3μm
工作臺(tái)平面度:15μm
工作臺(tái)面跳動(dòng):20μm
解決方案
視頻展示
一.產(chǎn)品簡(jiǎn)介
HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于高精度機(jī)械、光學(xué)零部件等幾何參量和運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)及分系統(tǒng)與整機(jī)裝配測(cè)試等。
二.規(guī)格與工作特性
臺(tái)面直徑范圍為φ200mm一φ600mm,設(shè)計(jì)有T型槽或固定孔的臺(tái)面形式,特殊需要可單獨(dú)定做;臺(tái)體承重從100kg到600kg。
三.結(jié)構(gòu)與工作特性
HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計(jì)量/~測(cè)量轉(zhuǎn)臺(tái)采用多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利技術(shù),進(jìn)行超精密~高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣體潤(rùn)滑與支承參數(shù)設(shè)計(jì),使轉(zhuǎn)臺(tái)兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺(tái)工作狀態(tài)平穩(wěn),在運(yùn)動(dòng)和定位狀態(tài)下均無(wú)氣體紊流振動(dòng)、嘯叫、噪聲及高頻微振等。
四.控制特性
該轉(zhuǎn)臺(tái)分為有驅(qū)動(dòng)和無(wú)驅(qū)動(dòng)兩種,有驅(qū)動(dòng)的控制指標(biāo)可按下述數(shù)據(jù)選配。
守置誤差:0.2V”
角分辨率:0.01-2”
重復(fù)性:0.1-1”
速率規(guī)范:±0.030/S±1500/S
速率波動(dòng)性:0.5%~1%
五.使用條件
電壓:220或380v交流電壓,50Hz
氣源:0.4-0.5MPa的過(guò)濾干燥空氣
溫度:20°C±5°c
濕度:<60%