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研究目的:研究一種超精密、超高速、大載荷、高剛度的氣浮回轉(zhuǎn)基準,解決傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準承載能力小、剛度低、抗擾動能力差等問題,以期進一步提高氣浮回轉(zhuǎn)基準的回轉(zhuǎn)精度,提高抗擾動能力。
基本原理:在傳統(tǒng)牛頓流體的雷諾方程基礎(chǔ)上,將惠普爾理論與壓力對數(shù)分布假設(shè)相結(jié)合,對傳統(tǒng)氣體潤滑理論進行修正和完善。建立基于動靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準(CTGB)的歸一化解析模型,在以剛度為目標函數(shù)的前提下,對結(jié)構(gòu)參數(shù)進行全局優(yōu)化,從而得到基于動靜壓復(fù)合的超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準的結(jié)構(gòu)參數(shù)。
科學(xué)意義及應(yīng)用價值:對超精密氣浮回轉(zhuǎn)基準中動靜壓之間的耦合規(guī)律進行建模。解析表述了動靜壓之間的壓力耦合、結(jié)構(gòu)耦合以及壓力與結(jié)構(gòu)之間的交叉耦合。該技術(shù)大幅度提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準的剛度、承載能力和抗擾動能力,提高了氣浮回轉(zhuǎn)基準的綜合性能。實驗表明:與傳統(tǒng)氣浮回轉(zhuǎn)基準(STGB)相比,承載能力提高4倍以上,剛度提高6倍以上,流量略有增大,性能曲線對比見Fig.1-3。
該技術(shù)已申請系列中國發(fā)明。