歡迎來(lái)到哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司官網(wǎng)！
型號(hào)：HUE-VS0810
最小開(kāi)口：0.2*0.2mm
X向行程：±22mm
Y向行程：±30mm
Y方向運(yùn)動(dòng)速度：0.8m/s
運(yùn)動(dòng)誤差：±0.03mm
解決方案
視頻展示
一.產(chǎn)品簡(jiǎn)介
VS部件實(shí)現(xiàn)調(diào)整光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)中的光源現(xiàn)場(chǎng)尺寸以及視場(chǎng)內(nèi)光強(qiáng)的均勻性，要求刀片掃描運(yùn)動(dòng)與掩膜臺(tái)掃描運(yùn)動(dòng)同步。
二.設(shè)計(jì)原則
模塊化設(shè)計(jì)原則：根據(jù)功能分解，確定模塊結(jié)構(gòu)，集成化設(shè)計(jì)，須便于集成前的模塊離線測(cè)試。
輕量化原則：在滿足強(qiáng)度及模態(tài)需求情況下，降低質(zhì)量，減輕對(duì)電機(jī)出力的需求。
質(zhì)心匹配原則：電機(jī)驅(qū)動(dòng)質(zhì)量與驅(qū)動(dòng)力盡可能在同一平面實(shí)現(xiàn)質(zhì)心驅(qū)動(dòng)，可減小附加轉(zhuǎn)矩。
尺寸約束原則：在滿足接口尺寸要求條件下，合理布局，盡可能平衡各預(yù)留尺寸。
易于裝調(diào)原則：在設(shè)計(jì)階段考慮裝調(diào)測(cè)試，以減小工裝設(shè)計(jì)和裝調(diào)的難度。
硬件安全原則：運(yùn)動(dòng)部件必須有安全防護(hù)裝置及限位，首選機(jī)械方式，其次電氣及軟件方式。
三.產(chǎn)品規(guī)格
需求名稱 | 指標(biāo) | |
行程需求 | VS最小開(kāi)口 | 0.5mm*0.5mm |
X向行程 | 總行程±22mm,其中功能行程±20mm | |
Y向行程 | 總行程±30mm，其中功能行程±28mm | |
Y方向運(yùn)動(dòng)特性 | VS運(yùn)動(dòng)誤差(動(dòng)態(tài)) | ±0.03mm |
刀片形貌誤差 | 0.02mm | |
刀片熱變形影響 | 0.02mm | |
刀片刀口刃厚度 | ≤0.1mm | |
加速度(驗(yàn)收指標(biāo)) | 5g | |
加速度(設(shè)計(jì)目標(biāo)) | 6g | |
速度(驗(yàn)收指標(biāo)) | 0.6m/s | |
速度(設(shè)計(jì)目標(biāo)) | 0.8m/s | |
加速穩(wěn)定時(shí)間(驗(yàn)收指標(biāo)) | <8ms | |
加速穩(wěn)定時(shí)間(設(shè)計(jì)目標(biāo)) | <6ms | |
反向沖擊力 | <40N | |
X方向運(yùn)動(dòng)特性 | VS運(yùn)動(dòng)位置誤差 | ±0.02mm |
刀片形貌誤差 | 0.02mm | |
刀片熱變形影響 | 0.02mm | |
刀片刀口刃厚度 | ≤0.1mm | |
加速度 | 2g | |
速度 | 0.5m/s | |
設(shè)定時(shí)間 | 90ms,運(yùn)動(dòng)距離10mm | |
刀口位置 | 四個(gè)刀口共面 | ≤0.1mm |
相鄰刀片斜面距離 | ≤0.1mm | |
X方向刀片相對(duì)安裝基準(zhǔn)面垂直度(全運(yùn)動(dòng)行程內(nèi)) | <0.02mm | |
Y方向刀片相對(duì)安裝基準(zhǔn)面平行度(全運(yùn)動(dòng)行程內(nèi)) | <0.02mm | |
壽命 | 7年 | |
MTBF | 平均無(wú)故障時(shí)間 | >10000h |
