歡迎來到哈爾濱超精密裝備工程技術中心有限公司官網(wǎng)！
研究目的：構建一種具有橫向光學超分辨成像特性的新型共焦顯微成像特性，解決光束合理整形問題并突破衍射極限，實現(xiàn)一種具有橫向光學超分辨能力的共焦顯微成像技術。
基本原理：應用二元光學器件，基于衍射原理將高斯激光光束整形為環(huán)形光束，通過設計環(huán)形光內(nèi)環(huán)半徑與外環(huán)半徑之比即環(huán)形光內(nèi)孔歸一化半徑ε，使將低頻光束頻移到高頻通帶，以減小共焦顯微鏡愛里斑的主瓣寬度，進而達到提高其橫向分辨力和擴展其量程范圍的目的。
科學意義及應用價值：融合了衍射光學技術和超分辨光瞳濾波技術的各自特性，其與傳統(tǒng)的環(huán)形透鏡式共焦測量系統(tǒng)相比，在達到同等橫向分辨力的情況下，由于整形環(huán)形光技術的采用使共焦顯微鏡的橫向和軸向強度響應中心峰值的能量損失減小到1/(1-ε2)2倍，同時環(huán)形透鏡內(nèi)環(huán)邊緣的衍射對測量系統(tǒng)造成的影響，橫向分辨力優(yōu)于0.2μm。本技術涉及光學掃描顯微成像及微觀掃描測量技術領域，可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細結構、微臺階、微構槽、集成電路線寬等。
該成果已獲國家發(fā)明。
