振動(dòng)對精密儀器設(shè)備有哪些影響？

在所有敏感目標(biāo)中，精密儀器設(shè)備的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)是相對最客觀和可量化的。人的個(gè)體差異導(dǎo)致對振動(dòng)敏感程度不同，但對具體某一臺儀器來說，何種程度的振動(dòng)會影響其正常工作毋庸置疑是確定的。詳細(xì)介紹了振動(dòng)對精密儀器設(shè)備的影響；本文主要討論國內(nèi)外針對精密儀器的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)及這些標(biāo)準(zhǔn)的確定方法。

一般來說，機(jī)械轉(zhuǎn)臺精密儀器設(shè)備的生產(chǎn)廠家應(yīng)該在說明書中說明該儀器設(shè)備的允許振動(dòng)值，如果沒有，使用者一般是通過試驗(yàn)來確定，也有一些儀器設(shè)備是通過長期的工作實(shí)踐和普查得到的。少數(shù)設(shè)備如單晶爐，影響其正常工作的因素很多，容許振動(dòng)限值難以測定，只能從多方面進(jìn)行觀察分析。工程實(shí)踐中，對儀器給出統(tǒng)一的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)是很困難的，實(shí)際規(guī)范和文獻(xiàn)包含的規(guī)定通常是一般限值或者一定使用范圍內(nèi)的限值。另外，精密儀器本身具有一定的固有振動(dòng)特性，所以不同頻率的振動(dòng)對精密儀器的影響程度是不一樣的。通常情況下，精度要求越高，容許振動(dòng)限值越嚴(yán)。

近年來，隨著儀器精度提高和對振動(dòng)要求加強(qiáng)，VC-F和VC-G也相繼提出，但后兩級只作為環(huán)境振動(dòng)的一種評估，不作為為精密儀器強(qiáng)行制定的標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)，對于比VC-C更嚴(yán)格的級別，在8Hz以下不再使用加速度標(biāo)準(zhǔn)放寬振動(dòng)要求，而統(tǒng)一采用同一速度來限定；不僅如此，還將低頻范圍一直延伸到1Hz，（圖3）。之所以低頻更加嚴(yán)格，是考慮到近20年來，超精密儀器大多內(nèi)部采取自身隔振系統(tǒng)（內(nèi)部被動(dòng)隔振），這使得在降低高頻敏感度的同時(shí)，加大了低頻的敏感度。因此為了適應(yīng)這種儀器被動(dòng)隔振的發(fā)展趨勢，一些曲線對1~8Hz的低頻要求更嚴(yán)。

機(jī)械轉(zhuǎn)臺振動(dòng)極其敏感的電子顯微鏡的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)與VC曲線的比較?？梢园l(fā)現(xiàn)，這些超精密儀器對低頻有著更為嚴(yán)格的要求，因此修正后的VC曲線更接近實(shí)際曲線。近年來，在評價(jià)交通振動(dòng)對精密儀器影響時(shí)，新版VC標(biāo)準(zhǔn)被廣泛選用[13-14]。目前，新版VC標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)作為精密儀器、設(shè)備的通用振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)列入了我國《電子工業(yè)防微振動(dòng)技術(shù)規(guī)范》（征求意見稿）[12]中。表1是圖3中曲線對應(yīng)的數(shù)據(jù)和適用范圍。