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精密儀器種類繁多、結(jié)構(gòu)各異。對于用于測量的精密儀器而言,可將其結(jié)構(gòu)分為基準(zhǔn)、機(jī)械轉(zhuǎn)臺、感受轉(zhuǎn)換、轉(zhuǎn)換放大傳輸、瞄準(zhǔn)/讀數(shù)、數(shù)據(jù)處理、顯示記錄、驅(qū)動控制、機(jī)械結(jié)構(gòu)等八大功能部件。但并不是說一臺精密儀器中必須包含上述八大功能部件,而是應(yīng)根據(jù)儀器功能的要求有所選擇。
1.基準(zhǔn)部件
基準(zhǔn)部件為測量提供標(biāo)準(zhǔn)量,測量結(jié)果均須與之比較方能得到準(zhǔn)確的測量值。因此,它是決定精密儀器精度的主要環(huán)節(jié)。
基準(zhǔn)器件的種類很多,如用于幾何量(長度和角度)測量的標(biāo)準(zhǔn)器件:量塊、精密測量絲杠、線紋尺、度盤、多面棱體、多齒分度盤、光柵尺(盤)、磁柵尺(盤)、感應(yīng)同步器、光波等。對于復(fù)雜參數(shù),有漸開線樣板、表面粗糙度樣板等標(biāo)準(zhǔn)件,還有提供標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)動的標(biāo)準(zhǔn)圓運(yùn)動、漸開線運(yùn)動和齒輪運(yùn)動裝置。此外還有標(biāo)準(zhǔn)硬度塊、頻率計(jì),以及時間、照度、流量、色度、激光參數(shù)、溫度、測力、稱重等標(biāo)準(zhǔn)??筛鶕?jù)需要選取。
2.感受轉(zhuǎn)換部件
感受轉(zhuǎn)換部件感受被測量,拾取原始信號以便進(jìn)一步轉(zhuǎn)換、處理和分析。其精度直接影響整個儀器的精度。
有的儀器的感受轉(zhuǎn)換部件僅起感受原始信號的作用,有的同時還進(jìn)行一次信號的轉(zhuǎn)換。感受轉(zhuǎn)換部件有兩大類:一類為接觸式的,如各種機(jī)械式探頭;一類為非接觸式的,如氣動非接觸測頭、光學(xué)探頭、紅外線、渦流測頭、拾音器等。
3.轉(zhuǎn)換放大傳輸部件
轉(zhuǎn)換放大傳輸部件將感受轉(zhuǎn)換來的微小信號,通過各種原理(光、機(jī)、電、氣)進(jìn)一步轉(zhuǎn)換和放大,成為觀察者或其下一部件可直接接收的信號,如顯示或進(jìn)一步加工處理。
4.瞄準(zhǔn)/讀數(shù)部件
瞄準(zhǔn)/讀數(shù)部件感受被測量/標(biāo)準(zhǔn)量,用以對零/讀數(shù)。
瞄準(zhǔn)部件用以感受被測量,要求指零準(zhǔn)確,一般不做讀數(shù)用,故不要求其靈敏度。讀數(shù)部件用以感受標(biāo)準(zhǔn)量,機(jī)械轉(zhuǎn)臺由它產(chǎn)生測量結(jié)果。在實(shí)際測量中,二者又是可互換,而不是絕對的。但有的儀器二者不能互換。