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機(jī)械轉(zhuǎn)臺氣浮運動臺作為精密設(shè)備，分為直線運動和旋轉(zhuǎn)運動，在使用時注意事項：
1機(jī)械結(jié)構(gòu)部分：
1.1）直線軸或旋轉(zhuǎn)軸需要安裝到一個平面度5μm的平臺基座上。
1.2）氣浮臺的供氣氣源要是潔凈的，無水無油固體顆粒小于0.2μm，壓力露點-20℃，三級過濾器定期排水（因地域濕度不同，根據(jù)實際情況檢查，周/月/季檢查），三級過濾器要豎直安裝，定期檢查是否有油水的情況，如有，打開過濾器底部開關(guān)排出。
1.3）直線軸和轉(zhuǎn)臺負(fù)載臺面在3μm以內(nèi)，先用無水乙醇擦拭干凈在安裝工件。
1.4）機(jī)械轉(zhuǎn)臺安裝的工件平面度3μm以內(nèi)。
1.5）安裝螺釘時，4角固定時要對角線上螺釘，環(huán)形固定時要也對角安裝，先輕微上力，再逐步加力，參考螺釘緊固力矩標(biāo)準(zhǔn)。
1.6）轉(zhuǎn)臺先通氣再通電，氣壓在0.5~0.6Mpa，關(guān)機(jī)時先斷電再斷氣。
1.7）直線軸與轉(zhuǎn)軸安裝，先用無水乙醇擦干凈，在安裝螺釘，轉(zhuǎn)接板平面度要在3μm以內(nèi)，安裝方法參考1.5。
氣浮運動臺的精度指標(biāo)：
直線臺：定位精度、重復(fù)定位精度、直線度、平面度、Pitch/Roll/Yaw，見下圖。
直線度：機(jī)械轉(zhuǎn)臺在水平方向移動時于垂直水平軸線的左右方向偏差；
平面度：（又稱垂直于直線度）運動臺在水平方向移動時于垂直于水平軸線上下方向的偏差；
Pitch：圍繞X方向的角度誤差；
Roll：圍繞Y軸方向的角度誤差；
Yaw：圍繞Z方向的角度誤差。
