氣浮軸承轉(zhuǎn)臺(tái)在角度精度方面的差異有哪些？

關(guān)于角度精確度

角度精確度可以通過配備標(biāo)準(zhǔn)較高的光柵尺來(lái)保證，取決于圓光柵的直徑大小，角度精確度一般在±1~±10 arc sec的范圍。如果一些特殊應(yīng)用場(chǎng)景需要更高的角度精確度，可以通過補(bǔ)償?shù)姆绞絹?lái)實(shí)現(xiàn)，例如圖2的轉(zhuǎn)臺(tái)通過Autocollimator（自準(zhǔn)直儀）的校準(zhǔn)后，角度精確度可以達(dá)到<0.5arc sec。相比于機(jī)械軸承轉(zhuǎn)臺(tái)，機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)氣浮軸承轉(zhuǎn)臺(tái)在角度精度方面的差異會(huì)更小。

關(guān)于端跳和徑跳

端跳是指任何旋轉(zhuǎn)平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候，轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)子臺(tái)面沿著軸心上下方向的跳動(dòng)。徑跳是指轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候，轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)子軸心向四周方面的跳動(dòng)。這兩個(gè)誤差是任何時(shí)候任何轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候都存在，只是誤差大小的區(qū)別。

機(jī)械軸承的轉(zhuǎn)臺(tái)，端跳和徑跳一般在3~5μm的范圍，個(gè)別技術(shù)領(lǐng)先的廠家能保證在1μm以內(nèi)但可選的范圍不多，下圖為比利時(shí)LAB公司的機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)的徑跳測(cè)試結(jié)果，實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)為520.9nm。

直徑1000mm及以下規(guī)格已定型陸續(xù)備現(xiàn)貨，新系列改進(jìn)了隔塵方式，還可選購(gòu)切屑液槽，機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)不但應(yīng)用于高精度測(cè)量，同時(shí)可以用于高精度生產(chǎn)。

直徑1000mm以上提供訂貨服務(wù)，可提供大型和超大型氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)。

每種轉(zhuǎn)臺(tái)均可配花崗巖底座，可以去掉數(shù)控部分變?yōu)槭謩?dòng)。

詳細(xì)的外形尺寸和參數(shù)，請(qǐng)聯(lián)絡(luò)我公司

D400空心立臥兩用(數(shù)顯)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)D200手動(dòng)測(cè)角氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)D200數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)（加高）D200數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)

機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)型號(hào)：ZT-AB-D400-KX-(SX)-(H)型號(hào)：ZT-AB-D200-SD-(H)型號(hào)：ZT-AB-D200-G(-H)型號(hào)：ZT-AB-D200(-H)

外形：400*400*150外形：230*230*112外形：220*220*160外形：220*220*95

D300數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)D400數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)D600數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)

型號(hào)：ZT-AB-D300(-H)型號(hào)：ZT-AB-D400(-H)型號(hào)：ZT-AB-D600(-H)

外形：320*320*116外形：430*430*145外形：608*608*187