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產(chǎn)品型號(hào)：HUE-ZT1031
產(chǎn)品名稱(chēng)：大型超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
徑向回轉(zhuǎn)精度：0.1μm
角回轉(zhuǎn)精度：0.3μm
工作臺(tái)平面度：15μm
工作臺(tái)面跳動(dòng)：20μm
解決方案
產(chǎn)品手冊(cè)
一．產(chǎn)品簡(jiǎn)介
HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)主要用于大型和超大型精密機(jī)械、光學(xué)精密零部件的幾何參量或部件及整機(jī)運(yùn)動(dòng)參量的計(jì)量檢測(cè)、以及大型精密裝備分系統(tǒng)和整機(jī)裝配測(cè)試等。
二．規(guī)格與工作特性
HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)面直徑范圍為①700mm～①3000，mm，設(shè)計(jì)有T型槽或固定子L的臺(tái)面形式，特殊需要可單獨(dú)定做；臺(tái)體承重從800kg到20000kg，（技術(shù)指標(biāo)見(jiàn)產(chǎn)品手冊(cè)）。
三.結(jié)構(gòu)與工作特性
HUE-ZT1031系列大型精密／超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)配置精密氣浮軸系，兼有高回轉(zhuǎn)精度、高剛度和高承載能力等特點(diǎn)。轉(zhuǎn)臺(tái)高精度旋轉(zhuǎn)時(shí)無(wú)噪聲、無(wú)振動(dòng)、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)臺(tái)配有花崗巖或鑄鐵基座和高潔凈空氣凈化器。
四.控制特性
該轉(zhuǎn)臺(tái)分為有驅(qū)動(dòng)和無(wú)驅(qū)動(dòng)兩種，有驅(qū)動(dòng)的控制指標(biāo)可按下述數(shù)據(jù)選配。
角位置誤差：1～5”
角分辨率：0.05～3”
重復(fù)性：02--2”
速率范圍：±0.03°／S～±150°／S
速率波動(dòng)性：0.5%～1%
五，使用條件
電壓： 220或380V交流電壓，50HZ
氣源： 0.4～0.5MPa的過(guò)濾干燥空氣
溫度：20℃±5℃
濕度：<60%
其他：避免酸堿等腐蝕性氣體侵蝕
