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產(chǎn)品型號(hào):HUE-E1232
產(chǎn)品名稱:雙軸氣浮精密測(cè)量轉(zhuǎn)臺(tái)
平面度:(3~10)μm
端面跳動(dòng):(4~15)μm
主軸軸承:超精密氣浮軸承
主軸轉(zhuǎn)角范圍:±360°
解決方案
產(chǎn)品手冊(cè)
一、產(chǎn)品介紹
HUE-E1232型雙軸氣浮精密測(cè)量/測(cè)試轉(zhuǎn)臺(tái),是一種多功能的測(cè)量/測(cè)試設(shè)備。該雙軸轉(zhuǎn)臺(tái)由精密平板式定位工作臺(tái)、機(jī)械臺(tái)體、超精密氣浮主軸、精密機(jī)械俯仰軸、精密測(cè)角系統(tǒng)和精密電控系統(tǒng)等組成,主要用于大型精密光/機(jī)零部件的幾何精度測(cè)量、大型精密光學(xué)系統(tǒng)和光/機(jī)裝備裝調(diào)和測(cè)試。
二、技術(shù)指標(biāo)
臺(tái)面 | 直徑 | φ(300~2000)mm可選(特殊形狀、規(guī)格可定做) |
平面度 | (3~10)μm | |
端面跳動(dòng) | (4~15)μm | |
主軸 | 軸承 | 超精密氣浮軸承 |
轉(zhuǎn)角范圍 | ±360° | |
軸、徑向回轉(zhuǎn)誤差 | (0.03~0.5)μm | |
角回轉(zhuǎn)精度 | 0.1"~0.5” | |
俯仰軸 | 軸承 | 精密機(jī)械軸承 |
傾角回轉(zhuǎn)誤差 | ±2" | |
轉(zhuǎn)角范圍 | ±90° | |
二軸線垂直度 | ±3” | |
角位置測(cè)量 | 顯示方式 | 000°00'00"~359°59'59" |
角位置測(cè)量誤差 | ±2"~±5" | |
角位置測(cè)量分辨力 | 0.1"~1" | |
負(fù)載 | (50~2000)kg | |
臺(tái)體外型尺寸 | φ900X900~φ1200X1200(可達(dá)φ2200X1800或按實(shí)際要求設(shè)計(jì)) | |
臺(tái)體重量 | 600kg~3000kg(按需要制造) |
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