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產(chǎn)品型號：HUE-ZT1032
產(chǎn)品名稱：超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺
徑向回轉(zhuǎn)精度：0.1μm
角回轉(zhuǎn)精度：0.3μm
工作臺平面度：15μm
工作臺面跳動：20μm
解決方案
視頻展示
一．產(chǎn)品簡介
HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮轉(zhuǎn)臺主要用于高精度機械、光學零部件等幾何參量和運動參量的計量檢測及分系統(tǒng)與整機裝配測試等。
二．規(guī)格與工作特性
臺面直徑范圍為φ200mm一φ600mm，設計有T型槽或固定孔的臺面形式，特殊需要可單獨定做;臺體承重從100kg到600kg。
三．結構與工作特性
HUE-ZT1032系列精密/超精密單軸氣浮計量/~測量轉(zhuǎn)臺采用多項發(fā)明專利技術，進行超精密~高剛度結構設計和氣體潤滑與支承參數(shù)設計，使轉(zhuǎn)臺兼有很高的徑向、軸向和角回轉(zhuǎn)精度及高剛度特性;轉(zhuǎn)臺工作狀態(tài)平穩(wěn)，在運動和定位狀態(tài)下均無氣體紊流振動、嘯叫、噪聲及高頻微振等。
四．控制特性
該轉(zhuǎn)臺分為有驅(qū)動和無驅(qū)動兩種，有驅(qū)動的控制指標可按下述數(shù)據(jù)選配。
守置誤差：0.2V”
角分辨率：0.01-2”
重復性：0.1-1”
速率規(guī)范：±0.030/S±1500/S
速率波動性：0.5%～1%
五.使用條件
電壓：220或380v交流電壓，50Hz
氣源：0.4-0.5MPa的過濾干燥空氣
溫度：20°C±5°c
濕度：<60%
