當(dāng)前標(biāo)簽：高速可動刀口系統(tǒng)定制
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一.產(chǎn)品簡介VS部件實(shí)現(xiàn)調(diào)整光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)中的光源現(xiàn)場尺寸以及視場內(nèi)光強(qiáng)的均勻性，要求刀片掃描運(yùn)動與掩膜臺掃描運(yùn)動同步。二.設(shè)計(jì)原則模塊化設(shè)計(jì)原則：根據(jù)功能分解，確定模塊結(jié)構(gòu)，集成化設(shè)計(jì)
